哈尔滨理工大学学报
哈爾濱理工大學學報
합이빈리공대학학보
JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2014年
2期
90-94
,共5页
林家齐%何霞霞%杨文龙%崔洋
林傢齊%何霞霞%楊文龍%崔洋
림가제%하하하%양문룡%최양
钙钛矿结构%铁电薄膜%疲劳特性%界面优化
鈣鈦礦結構%鐵電薄膜%疲勞特性%界麵優化
개태광결구%철전박막%피로특성%계면우화
perovskite%ferroelectric thin films%fatigue characteristics%interface optimization
针对铁电薄膜极化疲劳的问题,详细综述了其疲劳机理及其影响因素.给出了影响铁电薄膜疲劳的因素,该因素可分为内在因素和外在因素两大类.重点讨论了外在因素元素掺杂、电极、界面层优化、温度及气氛等的影响,并提出了相应的改善薄膜疲劳性能的措施.比较实用有效的方法是在金属电极和薄膜之间沉积一层与薄膜晶格参数接近的界面层.最后结合自身研究工作,指出建立界面层设计-微结构演变-疲劳性能之间的关系是我们以后重点关注的问题.
針對鐵電薄膜極化疲勞的問題,詳細綜述瞭其疲勞機理及其影響因素.給齣瞭影響鐵電薄膜疲勞的因素,該因素可分為內在因素和外在因素兩大類.重點討論瞭外在因素元素摻雜、電極、界麵層優化、溫度及氣氛等的影響,併提齣瞭相應的改善薄膜疲勞性能的措施.比較實用有效的方法是在金屬電極和薄膜之間沉積一層與薄膜晶格參數接近的界麵層.最後結閤自身研究工作,指齣建立界麵層設計-微結構縯變-疲勞性能之間的關繫是我們以後重點關註的問題.
침대철전박막겁화피로적문제,상세종술료기피로궤리급기영향인소.급출료영향철전박막피로적인소,해인소가분위내재인소화외재인소량대류.중점토론료외재인소원소참잡、전겁、계면층우화、온도급기분등적영향,병제출료상응적개선박막피로성능적조시.비교실용유효적방법시재금속전겁화박막지간침적일층여박막정격삼수접근적계면층.최후결합자신연구공작,지출건립계면층설계-미결구연변-피로성능지간적관계시아문이후중점관주적문제.
