电子器件
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전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2013年
5期
608-611
,共4页
王春水%张斌珍%龚珊%杨潞霞%毛静
王春水%張斌珍%龔珊%楊潞霞%毛靜
왕춘수%장빈진%공산%양로하%모정
微透镜%可调双焦%仿真%ZEMAX
微透鏡%可調雙焦%倣真%ZEMAX
미투경%가조쌍초%방진%ZEMAX
microlens%variable bi-focus%simulation%ZEMAX
可调双焦微透镜由底部的含有内外薄膜的PDMS主体结构和包含出入液口的PDMS盖片组成.微透镜可以通过紫外光刻、软光刻工艺制得.使用ANSYS仿真得到PDMS内外薄膜在不同压强下的变形图,然后利用ZEMAX仿真得到透镜的内外焦距、焦距差和光线追迹图、成像图.上述设计与仿真将为可调双焦微透镜的实际应用提供理论依据.由于微透镜的主光轴平行于基底,便于与其他光学器件集成,可广泛应用于微流检测、光镊等领域.
可調雙焦微透鏡由底部的含有內外薄膜的PDMS主體結構和包含齣入液口的PDMS蓋片組成.微透鏡可以通過紫外光刻、軟光刻工藝製得.使用ANSYS倣真得到PDMS內外薄膜在不同壓彊下的變形圖,然後利用ZEMAX倣真得到透鏡的內外焦距、焦距差和光線追跡圖、成像圖.上述設計與倣真將為可調雙焦微透鏡的實際應用提供理論依據.由于微透鏡的主光軸平行于基底,便于與其他光學器件集成,可廣汎應用于微流檢測、光鑷等領域.
가조쌍초미투경유저부적함유내외박막적PDMS주체결구화포함출입액구적PDMS개편조성.미투경가이통과자외광각、연광각공예제득.사용ANSYS방진득도PDMS내외박막재불동압강하적변형도,연후이용ZEMAX방진득도투경적내외초거、초거차화광선추적도、성상도.상술설계여방진장위가조쌍초미투경적실제응용제공이론의거.유우미투경적주광축평행우기저,편우여기타광학기건집성,가엄범응용우미류검측、광섭등영역.
