电子器件
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전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2013年
5期
600-603
,共4页
张敏%淦华%官勇%缪旻%金玉丰
張敏%淦華%官勇%繆旻%金玉豐
장민%감화%관용%무민%금옥봉
MEMS%单金属丝压力测试%封装%微型皮拉尼计%四探针法%灵敏度
MEMS%單金屬絲壓力測試%封裝%微型皮拉尼計%四探針法%靈敏度
MEMS%단금속사압력측시%봉장%미형피랍니계%사탐침법%령민도
MEMS%mono-metal-wire pressure test%package%Pirani gauge%four-probe method%sensitivity
为实现MEMS微小腔体压强测量与监控,提出了基于单金属丝皮拉尼型低压测试方法.采用CFD-ACE+软件建立微型皮拉尼计有限体积模型,进行了仿真分析.基于四探针法原理,完成了不同尺寸和材料的金属丝压强测试和标定试验.测试结果表明:采用铂丝等单金属丝结构可以实现MEMS器件封装内部1 Pa～1000Pa压力检测.在测量范围内,金属丝直径越小,长度越长,加载电流越大,皮拉尼计灵敏度越高.
為實現MEMS微小腔體壓彊測量與鑑控,提齣瞭基于單金屬絲皮拉尼型低壓測試方法.採用CFD-ACE+軟件建立微型皮拉尼計有限體積模型,進行瞭倣真分析.基于四探針法原理,完成瞭不同呎吋和材料的金屬絲壓彊測試和標定試驗.測試結果錶明:採用鉑絲等單金屬絲結構可以實現MEMS器件封裝內部1 Pa～1000Pa壓力檢測.在測量範圍內,金屬絲直徑越小,長度越長,加載電流越大,皮拉尼計靈敏度越高.
위실현MEMS미소강체압강측량여감공,제출료기우단금속사피랍니형저압측시방법.채용CFD-ACE+연건건립미형피랍니계유한체적모형,진행료방진분석.기우사탐침법원리,완성료불동척촌화재료적금속사압강측시화표정시험.측시결과표명:채용박사등단금속사결구가이실현MEMS기건봉장내부1 Pa～1000Pa압력검측.재측량범위내,금속사직경월소,장도월장,가재전류월대,피랍니계령민도월고.
