压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2013年
4期
511-513
,共3页
林日乐%赵建华%林珂%满欣%李文蕴%周倩%翁邦英
林日樂%趙建華%林珂%滿訢%李文蘊%週倩%翁邦英
림일악%조건화%림가%만흔%리문온%주천%옹방영
石英%微机械%陀螺%敏感器件%可靠性
石英%微機械%陀螺%敏感器件%可靠性
석영%미궤계%타라%민감기건%가고성
quartz%MEMS%gyroscope%sensing device%reliability
石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素.分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了其失效模式.试验结果验证了分析的准确性,分析结果可作为改进敏感器件可靠性的依据.
石英微機械陀螺敏感器件通常採用一體式音扠結構,具有較高的可靠性,但由于在敏感芯片中設計瞭撓性結構,撓性結構的參數及加工質量是影響器件可靠性的關鍵因素.分析瞭敏感芯片撓性結構在外力作用下的應力分佈及結構缺陷對其影響,分析瞭其失效模式.試驗結果驗證瞭分析的準確性,分析結果可作為改進敏感器件可靠性的依據.
석영미궤계타라민감기건통상채용일체식음차결구,구유교고적가고성,단유우재민감심편중설계료뇨성결구,뇨성결구적삼수급가공질량시영향기건가고성적관건인소.분석료민감심편뇨성결구재외력작용하적응력분포급결구결함대기영향,분석료기실효모식.시험결과험증료분석적준학성,분석결과가작위개진민감기건가고성적의거.
