压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2013年
4期
463-466,477
,共5页
胡瑛%朱昌安%晏秋娟%周勇%吴燕%王栋
鬍瑛%硃昌安%晏鞦娟%週勇%吳燕%王棟
호영%주창안%안추연%주용%오연%왕동
声体波器件%可靠性%统计过程控制(SPC)%工序能力指数(Cpk)
聲體波器件%可靠性%統計過程控製(SPC)%工序能力指數(Cpk)
성체파기건%가고성%통계과정공제(SPC)%공서능력지수(Cpk)
BAW device%reliability%statistic process control (SPC)%process capability index (Cpk)
针对高品质声体波微波(MBAW)器件的批量生产问题,研究了MBAW器件平面工艺路线的生产流程,选择蒸发底电极,溅射氧化锌,蒸发上电极及超声键合4个工序,应用统计过程控制(SPC)技术实施控制,确保MBAW器件在稳定受控状态下生产.本项应用不仅使这4个工序的工序能力指数(Cpk)得到提升,且MBAW器件的性能一致性和可靠性也得到明显提高,结果表明,几年来生产的MBAW器件没有再出现使用过程因质量问题的返退.
針對高品質聲體波微波(MBAW)器件的批量生產問題,研究瞭MBAW器件平麵工藝路線的生產流程,選擇蒸髮底電極,濺射氧化鋅,蒸髮上電極及超聲鍵閤4箇工序,應用統計過程控製(SPC)技術實施控製,確保MBAW器件在穩定受控狀態下生產.本項應用不僅使這4箇工序的工序能力指數(Cpk)得到提升,且MBAW器件的性能一緻性和可靠性也得到明顯提高,結果錶明,幾年來生產的MBAW器件沒有再齣現使用過程因質量問題的返退.
침대고품질성체파미파(MBAW)기건적비량생산문제,연구료MBAW기건평면공예로선적생산류정,선택증발저전겁,천사양화자,증발상전겁급초성건합4개공서,응용통계과정공제(SPC)기술실시공제,학보MBAW기건재은정수공상태하생산.본항응용불부사저4개공서적공서능력지수(Cpk)득도제승,차MBAW기건적성능일치성화가고성야득도명현제고,결과표명,궤년래생산적MBAW기건몰유재출현사용과정인질량문제적반퇴.
