电机与控制学报
電機與控製學報
전궤여공제학보
ECTRIC MACHINES AND CONTROL
2013年
8期
1-8
,共8页
唐勇斌%李立毅%刘家曦%潘东华
唐勇斌%李立毅%劉傢晞%潘東華
당용빈%리립의%류가희%반동화
光刻机%无铁心直线电机%分数槽集中绕组%电磁推力%极槽比
光刻機%無鐵心直線電機%分數槽集中繞組%電磁推力%極槽比
광각궤%무철심직선전궤%분수조집중요조%전자추력%겁조비
lithography%air-core linear motor%fractional slot concentrated windings%electromagnetic thrust%pole/slot ratio
为实现应用于步进扫描投影光刻机中长行程直线电机的高推力密度、低推力波动等要求,研究叠放和非叠放两种分数槽集中绕组的无铁心永磁直线同步电机推力特性,在建立空载气隙磁场分析模型的基础上,推导叠放和非叠放两种绕组形式的电机空载感应电动势、电磁推力和推力密度的解析式,分析永磁体和初级绕组的结构尺寸对电磁推力的影响规律.通过实例分析,比较推力的解析法计算结果、有限元法仿真结果和实验测试值,证明解析法的合理性.同时,分析比较不同极槽比组合的叠放和非叠放分数槽集中绕组的电机电磁推力和推力密度的大小.结果表明:少极多槽极槽比的叠放分数槽集中绕组形式电机产生的电磁推力与推力密度更大.
為實現應用于步進掃描投影光刻機中長行程直線電機的高推力密度、低推力波動等要求,研究疊放和非疊放兩種分數槽集中繞組的無鐵心永磁直線同步電機推力特性,在建立空載氣隙磁場分析模型的基礎上,推導疊放和非疊放兩種繞組形式的電機空載感應電動勢、電磁推力和推力密度的解析式,分析永磁體和初級繞組的結構呎吋對電磁推力的影響規律.通過實例分析,比較推力的解析法計算結果、有限元法倣真結果和實驗測試值,證明解析法的閤理性.同時,分析比較不同極槽比組閤的疊放和非疊放分數槽集中繞組的電機電磁推力和推力密度的大小.結果錶明:少極多槽極槽比的疊放分數槽集中繞組形式電機產生的電磁推力與推力密度更大.
위실현응용우보진소묘투영광각궤중장행정직선전궤적고추력밀도、저추력파동등요구,연구첩방화비첩방량충분수조집중요조적무철심영자직선동보전궤추력특성,재건립공재기극자장분석모형적기출상,추도첩방화비첩방량충요조형식적전궤공재감응전동세、전자추력화추력밀도적해석식,분석영자체화초급요조적결구척촌대전자추력적영향규률.통과실례분석,비교추력적해석법계산결과、유한원법방진결과화실험측시치,증명해석법적합이성.동시,분석비교불동겁조비조합적첩방화비첩방분수조집중요조적전궤전자추력화추력밀도적대소.결과표명:소겁다조겁조비적첩방분수조집중요조형식전궤산생적전자추력여추력밀도경대.
