机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2013年
9期
1055-1058
,共4页
孙磊%郭伟刚%袁巨龙%邓乾发%冯铭%吕冰海
孫磊%郭偉剛%袁巨龍%鄧乾髮%馮銘%呂冰海
손뢰%곽위강%원거룡%산건발%풍명%려빙해
石英晶片%超精密抛光%表面质量%材料去除机理
石英晶片%超精密拋光%錶麵質量%材料去除機理
석영정편%초정밀포광%표면질량%재료거제궤리
quartz substrate%ultra-precision polishing%surface quality%material removal mechanism
为了解决超薄石英晶片高表面质量的加工问题,以及寻求一种高效低成本的加工方法,将一种新的超精密抛光工艺应用到超薄石英晶片的加工中.给出了加工过程中的抛光原理,制定出了在研磨和抛光过程中的最优实验条件,并对加工后超薄石英晶片的粗糙度和厚度做了详细的分析;讨论了磨粒的尺寸对表面粗糙度和材料去除率的影响,同时对加工过程的材料去除机理做了论述,以表面粗糙度和厚度为评价目标对超薄石英晶片的加工特性和表面质量进行了评价.研究结果表明:使用该实验的工艺加工超薄石英晶片可以得到厚度为99.4 μm、表面粗糙度为0.82 nm的超光滑表面;同时,该研究还发现通过延长抛光时间可以减小石英晶片的表面残余应力,可有效控制石英晶片四角“翘曲”现象,得到更好的平面度和平行度.
為瞭解決超薄石英晶片高錶麵質量的加工問題,以及尋求一種高效低成本的加工方法,將一種新的超精密拋光工藝應用到超薄石英晶片的加工中.給齣瞭加工過程中的拋光原理,製定齣瞭在研磨和拋光過程中的最優實驗條件,併對加工後超薄石英晶片的粗糙度和厚度做瞭詳細的分析;討論瞭磨粒的呎吋對錶麵粗糙度和材料去除率的影響,同時對加工過程的材料去除機理做瞭論述,以錶麵粗糙度和厚度為評價目標對超薄石英晶片的加工特性和錶麵質量進行瞭評價.研究結果錶明:使用該實驗的工藝加工超薄石英晶片可以得到厚度為99.4 μm、錶麵粗糙度為0.82 nm的超光滑錶麵;同時,該研究還髮現通過延長拋光時間可以減小石英晶片的錶麵殘餘應力,可有效控製石英晶片四角“翹麯”現象,得到更好的平麵度和平行度.
위료해결초박석영정편고표면질량적가공문제,이급심구일충고효저성본적가공방법,장일충신적초정밀포광공예응용도초박석영정편적가공중.급출료가공과정중적포광원리,제정출료재연마화포광과정중적최우실험조건,병대가공후초박석영정편적조조도화후도주료상세적분석;토론료마립적척촌대표면조조도화재료거제솔적영향,동시대가공과정적재료거제궤리주료논술,이표면조조도화후도위평개목표대초박석영정편적가공특성화표면질량진행료평개.연구결과표명:사용해실험적공예가공초박석영정편가이득도후도위99.4 μm、표면조조도위0.82 nm적초광활표면;동시,해연구환발현통과연장포광시간가이감소석영정편적표면잔여응력,가유효공제석영정편사각“교곡”현상,득도경호적평면도화평행도.
