城市建设理论研究
城市建設理論研究
성시건설이론연구
2014年
12期
,共1页
防微震%钢平台%洁净%施工%流程
防微震%鋼平檯%潔淨%施工%流程
방미진%강평태%길정%시공%류정
随着高科技产业的不断发展，半导体设备对基础的防微振动要求也越来越高。由此，防微振动平台的施工作业也越发的增多，本文以该类型平台中选择一种比较容易施工作业、施工比较快的平台为例，对其施工工法进行一个探讨。力求对其施工流程进行说明，并分析其使用价值。
隨著高科技產業的不斷髮展，半導體設備對基礎的防微振動要求也越來越高。由此，防微振動平檯的施工作業也越髮的增多，本文以該類型平檯中選擇一種比較容易施工作業、施工比較快的平檯為例，對其施工工法進行一箇探討。力求對其施工流程進行說明，併分析其使用價值。
수착고과기산업적불단발전，반도체설비대기출적방미진동요구야월래월고。유차，방미진동평태적시공작업야월발적증다，본문이해류형평태중선택일충비교용역시공작업、시공비교쾌적평태위례，대기시공공법진행일개탐토。력구대기시공류정진행설명，병분석기사용개치。
