光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
9期
2303-2308
,共6页
谭鑫%沈晨%吴娜%张方程%巴音贺希格
譚鑫%瀋晨%吳娜%張方程%巴音賀希格
담흠%침신%오나%장방정%파음하희격
凹面光栅%闪耀光栅%分区法%衍射效率%离子束刻蚀
凹麵光柵%閃耀光柵%分區法%衍射效率%離子束刻蝕
요면광책%섬요광책%분구법%연사효솔%리자속각식
concave grating%blazed grating%partitioned space method%diffraction efficiency%ion beam etching
研究了制备闪耀凹面光栅的离子束刻蚀工艺,提出了用“解析分区法”设计闪耀凹面光栅的衍射效率.该方法能通过确定离子束入射角,在实验前定量给出平行离子束刻蚀后光栅衍射效率的设计结果.经过理论设计计算出所需波长衍射效率较高的凹面闪耀光栅中心闪耀角,利用刻蚀模拟软件BLAZING计算出离子束刻蚀参数及光刻胶掩模参数;以计算结果为依据,利用全息-离子束刻蚀工艺制作出尺寸为45 mm×40 mm2,曲率半径为224 mm的凹面闪耀光栅,其中心闪耀角约为9.21°,峰值衍射效率为54.8％@300 nm,250 nm处衍射效率为50％,与“解析分区法”计算结果符合较好.实验结果表明,利用“解析分区法”进行凹面闪耀光栅衍射效率设计的方法简单易行,能够有效指导平行离子束刻蚀闪耀凹面光栅工艺,完成高衍射效率凹面闪耀光栅的制作.
研究瞭製備閃耀凹麵光柵的離子束刻蝕工藝,提齣瞭用“解析分區法”設計閃耀凹麵光柵的衍射效率.該方法能通過確定離子束入射角,在實驗前定量給齣平行離子束刻蝕後光柵衍射效率的設計結果.經過理論設計計算齣所需波長衍射效率較高的凹麵閃耀光柵中心閃耀角,利用刻蝕模擬軟件BLAZING計算齣離子束刻蝕參數及光刻膠掩模參數;以計算結果為依據,利用全息-離子束刻蝕工藝製作齣呎吋為45 mm×40 mm2,麯率半徑為224 mm的凹麵閃耀光柵,其中心閃耀角約為9.21°,峰值衍射效率為54.8％@300 nm,250 nm處衍射效率為50％,與“解析分區法”計算結果符閤較好.實驗結果錶明,利用“解析分區法”進行凹麵閃耀光柵衍射效率設計的方法簡單易行,能夠有效指導平行離子束刻蝕閃耀凹麵光柵工藝,完成高衍射效率凹麵閃耀光柵的製作.
연구료제비섬요요면광책적리자속각식공예,제출료용“해석분구법”설계섬요요면광책적연사효솔.해방법능통과학정리자속입사각,재실험전정량급출평행리자속각식후광책연사효솔적설계결과.경과이론설계계산출소수파장연사효솔교고적요면섬요광책중심섬요각,이용각식모의연건BLAZING계산출리자속각식삼수급광각효엄모삼수;이계산결과위의거,이용전식-리자속각식공예제작출척촌위45 mm×40 mm2,곡솔반경위224 mm적요면섬요광책,기중심섬요각약위9.21°,봉치연사효솔위54.8％@300 nm,250 nm처연사효솔위50％,여“해석분구법”계산결과부합교호.실험결과표명,이용“해석분구법”진행요면섬요광책연사효솔설계적방법간단역행,능구유효지도평행리자속각식섬요요면광책공예,완성고연사효솔요면섬요광책적제작.
