机械工业标准化与质量
機械工業標準化與質量
궤계공업표준화여질량
MACHINERY INDUSTRY STANDARDIZATION & QUALITY
2013年
9期
28-30
,共3页
吴蔚%王丹伟%于红波%张胜
吳蔚%王丹偉%于紅波%張勝
오위%왕단위%우홍파%장성
镀膜机%真空离子镀膜%计算机系统
鍍膜機%真空離子鍍膜%計算機繫統
도막궤%진공리자도막%계산궤계통
本文介绍一种全自动、智能化计算机控制系统在真空离子镀膜机设备中的应用,可实现对真空离子镀膜机设备中各设备(泵阀机组、真空计、多路气路系统、电弧电源系统、偏压电源系统、溅射电源系统等)的全自动控制,实现对各种工件镀膜过程的装炉、自动抽气、镀膜、充气以及卸载工件等过程.
本文介紹一種全自動、智能化計算機控製繫統在真空離子鍍膜機設備中的應用,可實現對真空離子鍍膜機設備中各設備(泵閥機組、真空計、多路氣路繫統、電弧電源繫統、偏壓電源繫統、濺射電源繫統等)的全自動控製,實現對各種工件鍍膜過程的裝爐、自動抽氣、鍍膜、充氣以及卸載工件等過程.
본문개소일충전자동、지능화계산궤공제계통재진공리자도막궤설비중적응용,가실현대진공리자도막궤설비중각설비(빙벌궤조、진공계、다로기로계통、전호전원계통、편압전원계통、천사전원계통등)적전자동공제,실현대각충공건도막과정적장로、자동추기、도막、충기이급사재공건등과정.
