上海有色金属
上海有色金屬
상해유색금속
SHANGHAI NONFERROUS METALS
2013年
3期
117-121
,共5页
多晶硅%副产物%四氯化硅%高纯石英玻璃
多晶硅%副產物%四氯化硅%高純石英玻璃
다정규%부산물%사록화규%고순석영파리
针对国内多晶硅生产副产物四氯化硅的消化处理,通过对多晶硅生产尾气冷凝液主要成分三氯氢硅和四氯化硅等组分和杂质的含量分析,提出了利用多晶硅生产副产物四氯化硅合成高纯石英玻璃的方法及其工艺条件.通过分析四氯化硅合成高纯石英玻璃的影响因素,针对性地提出了生产控制方法.对高纯石英玻璃材料的理化性能及应用进行了探讨,为多晶硅行业资源综合利用及增效减排,提供了切实可行的途径.
針對國內多晶硅生產副產物四氯化硅的消化處理,通過對多晶硅生產尾氣冷凝液主要成分三氯氫硅和四氯化硅等組分和雜質的含量分析,提齣瞭利用多晶硅生產副產物四氯化硅閤成高純石英玻璃的方法及其工藝條件.通過分析四氯化硅閤成高純石英玻璃的影響因素,針對性地提齣瞭生產控製方法.對高純石英玻璃材料的理化性能及應用進行瞭探討,為多晶硅行業資源綜閤利用及增效減排,提供瞭切實可行的途徑.
침대국내다정규생산부산물사록화규적소화처리,통과대다정규생산미기냉응액주요성분삼록경규화사록화규등조분화잡질적함량분석,제출료이용다정규생산부산물사록화규합성고순석영파리적방법급기공예조건.통과분석사록화규합성고순석영파리적영향인소,침대성지제출료생산공제방법.대고순석영파리재료적이화성능급응용진행료탐토,위다정규행업자원종합이용급증효감배,제공료절실가행적도경.
