溅射功率对氮化锌薄膜特性的影响
천사공솔대담화자박막특성적영향
Effect of Sputtering Power on Properties of Zinc Nitride Films
  • 万方数据
    光电子技术 광전자기술
    OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2013年 3期 155-159 ,共5页

    杨田林%贾绍辉%刘先平%宋淑梅%李延辉%辛艳青%王雪霞

    양전림%가소휘%류선평%송숙매%리연휘%신염청%왕설하

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    在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法,利用纯金属Zn靶,在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜.X射线衍射谱表明氮化锌具有(4 0 0)择优取向,反方铁锰矿结构.研究了溅射功率对氮化锌薄膜结构、电学及光学性质的影响.
    재파리츤저상통과자공반응천사법,이용순금속Zn파,재N2-Ar등리자체분위중제비출담화자박막.X사선연사보표명담화자구유(4 0 0)택우취향,반방철맹광결구.연구료천사공솔대담화자박막결구、전학급광학성질적영향.
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