应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
5期
854-859
,共6页
汪建君%袁吕军%武中华%周馨
汪建君%袁呂軍%武中華%週馨
왕건군%원려군%무중화%주형
光学工艺%大口径碳化硅反射镜%PVD改性%抛光
光學工藝%大口徑碳化硅反射鏡%PVD改性%拋光
광학공예%대구경탄화규반사경%PVD개성%포광
optical process%large-aperture SiC mirror%PVD modification%polishing
通过将多块不同尺寸的碳化硅平面试片以及一块口径为520 mm碳化硅凹非球面反射镜作为镜面改性工艺技术的实验平台,对大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺技术进行探索、分析和研究.重点研究了前期PVD改性前镜面特性与PVD改性层的最佳匹配关系,主要是PVD改性层与镜面粗糙度和残留面形误差的要求和最佳结合点.采用的抛光方式为磨盘相对镜体做行星运动,采用相同的离子束辅助沉积法进行凹椭球面碳化硅反射镜的镜面改性.实验结果表明:通过选用合适的方案对改性后的PVD改性层镜面的面形误差进行修抛,可同时提高其镜面光洁度和粗糙度,最终测试结果为0.756 nm(Sq),与改性前比较,粗糙度得到一定程度的提高.
通過將多塊不同呎吋的碳化硅平麵試片以及一塊口徑為520 mm碳化硅凹非毬麵反射鏡作為鏡麵改性工藝技術的實驗平檯,對大口徑碳化硅反射鏡麵PVD改性工藝技術進行探索、分析和研究.重點研究瞭前期PVD改性前鏡麵特性與PVD改性層的最佳匹配關繫,主要是PVD改性層與鏡麵粗糙度和殘留麵形誤差的要求和最佳結閤點.採用的拋光方式為磨盤相對鏡體做行星運動,採用相同的離子束輔助沉積法進行凹橢毬麵碳化硅反射鏡的鏡麵改性.實驗結果錶明:通過選用閤適的方案對改性後的PVD改性層鏡麵的麵形誤差進行脩拋,可同時提高其鏡麵光潔度和粗糙度,最終測試結果為0.756 nm(Sq),與改性前比較,粗糙度得到一定程度的提高.
통과장다괴불동척촌적탄화규평면시편이급일괴구경위520 mm탄화규요비구면반사경작위경면개성공예기술적실험평태,대대구경탄화규반사경면PVD개성공예기술진행탐색、분석화연구.중점연구료전기PVD개성전경면특성여PVD개성층적최가필배관계,주요시PVD개성층여경면조조도화잔류면형오차적요구화최가결합점.채용적포광방식위마반상대경체주행성운동,채용상동적리자속보조침적법진행요타구면탄화규반사경적경면개성.실험결과표명:통과선용합괄적방안대개성후적PVD개성층경면적면형오차진행수포,가동시제고기경면광길도화조조도,최종측시결과위0.756 nm(Sq),여개성전비교,조조도득도일정정도적제고.
