应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2013年
5期
802-808
,共7页
移相干涉%相位提取%干涉图%傅里叶变换
移相榦涉%相位提取%榦涉圖%傅裏葉變換
이상간섭%상위제취%간섭도%부리협변환
phase-shifting interferometry%phase extraction%interferogram%FFT
针对大口径光学元件干涉测试过程中,测试装置和干涉腔长较大,气流扰动和环境振动对移相测试过程产生影响等问题,采用一种基于二维傅里叶变换的单帧干涉图处理方法,只需要对一幅空间载频干涉条纹图进行处理即可获得待测相位,具有抗振测试的优点.对该方法的基本原理和算法过程进行分析,并对近红外大口径移相平面干涉仪中600 mm口径的光学平晶进行了面形测试.实验结果表明:采用该方法所得波面峰谷值(PV)为0.112λ,波面均方根值(RMS)为0.014λ,与移相算法所得波面数据相比,波面峰谷值偏差不到(1/500)λ;波面均方根值(RMS)偏差几乎为零.
針對大口徑光學元件榦涉測試過程中,測試裝置和榦涉腔長較大,氣流擾動和環境振動對移相測試過程產生影響等問題,採用一種基于二維傅裏葉變換的單幀榦涉圖處理方法,隻需要對一幅空間載頻榦涉條紋圖進行處理即可穫得待測相位,具有抗振測試的優點.對該方法的基本原理和算法過程進行分析,併對近紅外大口徑移相平麵榦涉儀中600 mm口徑的光學平晶進行瞭麵形測試.實驗結果錶明:採用該方法所得波麵峰穀值(PV)為0.112λ,波麵均方根值(RMS)為0.014λ,與移相算法所得波麵數據相比,波麵峰穀值偏差不到(1/500)λ;波麵均方根值(RMS)偏差幾乎為零.
침대대구경광학원건간섭측시과정중,측시장치화간섭강장교대,기류우동화배경진동대이상측시과정산생영향등문제,채용일충기우이유부리협변환적단정간섭도처리방법,지수요대일폭공간재빈간섭조문도진행처리즉가획득대측상위,구유항진측시적우점.대해방법적기본원리화산법과정진행분석,병대근홍외대구경이상평면간섭의중600 mm구경적광학평정진행료면형측시.실험결과표명:채용해방법소득파면봉곡치(PV)위0.112λ,파면균방근치(RMS)위0.014λ,여이상산법소득파면수거상비,파면봉곡치편차불도(1/500)λ;파면균방근치(RMS)편차궤호위령.
