材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
18期
39-41,70
,共4页
周应秋%杨航%黄晓琨%于晓燕%何彪%何焰蓝%彭刚
週應鞦%楊航%黃曉琨%于曉燕%何彪%何燄藍%彭剛
주응추%양항%황효곤%우효연%하표%하염람%팽강
化学气相沉积%石墨烯%场效应管%空气掺杂%载流子迁移率
化學氣相沉積%石墨烯%場效應管%空氣摻雜%載流子遷移率
화학기상침적%석묵희%장효응관%공기참잡%재류자천이솔
chemical vapor deposition%graphene%field-effect transistor%air-doping%carrier mobility
研究了空气掺杂对化学气相沉积(CVD)法制备的双层石墨烯底栅型场效应管电输运性能的影响.分别在大气、真空(＜1 Pa)、氮气以及不同湿度环境中测试了石墨烯场效应管的电学性能,测试结果表明大气中水分子和氧气分子的吸附导致的空穴掺杂作用使石墨烯的电学性能发生了严重退化,随着石墨烯表面吸附水分子和氧气分子的增多,狄拉克转变点电压向正方向的偏移量逐渐增大,空穴掺杂浓度增大,载流子迁移率减小.
研究瞭空氣摻雜對化學氣相沉積(CVD)法製備的雙層石墨烯底柵型場效應管電輸運性能的影響.分彆在大氣、真空(＜1 Pa)、氮氣以及不同濕度環境中測試瞭石墨烯場效應管的電學性能,測試結果錶明大氣中水分子和氧氣分子的吸附導緻的空穴摻雜作用使石墨烯的電學性能髮生瞭嚴重退化,隨著石墨烯錶麵吸附水分子和氧氣分子的增多,狄拉剋轉變點電壓嚮正方嚮的偏移量逐漸增大,空穴摻雜濃度增大,載流子遷移率減小.
연구료공기참잡대화학기상침적(CVD)법제비적쌍층석묵희저책형장효응관전수운성능적영향.분별재대기、진공(＜1 Pa)、담기이급불동습도배경중측시료석묵희장효응관적전학성능,측시결과표명대기중수분자화양기분자적흡부도치적공혈참잡작용사석묵희적전학성능발생료엄중퇴화,수착석묵희표면흡부수분자화양기분자적증다,적랍극전변점전압향정방향적편이량축점증대,공혈참잡농도증대,재류자천이솔감소.
