浙江理工大学学报
浙江理工大學學報
절강리공대학학보
JOURNAL OF ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY
2013年
5期
689-692,712
,共5页
章淼凌%严利平%楼盈天%刘燕娜%陈本永
章淼凌%嚴利平%樓盈天%劉燕娜%陳本永
장묘릉%엄리평%루영천%류연나%진본영
激光圆偏振干涉%纳米位移测量%信号处理%FPGA和DSP
激光圓偏振榦涉%納米位移測量%信號處理%FPGA和DSP
격광원편진간섭%납미위이측량%신호처리%FPGA화DSP
laser circular polarization interferometer%nanometer displacement measurement%signal processing%FPGA and DSP
介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构,针对A/D误差和直流噪声引入的位移误差,提出了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法,以提高测量精度.设计基于FPGA和DSP架构的激光圆偏振干涉纳米位移测量系统,其中FPGA主要用于信号的采集、大数计数及与上位机通讯,DSP主要用于小数计算.位移实验结果表明:在0～7 μm范围内,步长为100 nm的测量结果其线性拟合相关系数为0.9836,标准差为1.88 nm;在0～15 μm范围内步长为1μm的测量结果其线性拟相关系数为0.9992,标准差为2.96 nm.验证了所提出的干涉条纹处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求.
介紹激光圓偏振榦涉納米位移測量繫統的光路結構,針對A/D誤差和直流譟聲引入的位移誤差,提齣瞭基于正餘絃信號切換的榦涉條紋處理方法,以提高測量精度.設計基于FPGA和DSP架構的激光圓偏振榦涉納米位移測量繫統,其中FPGA主要用于信號的採集、大數計數及與上位機通訊,DSP主要用于小數計算.位移實驗結果錶明:在0～7 μm範圍內,步長為100 nm的測量結果其線性擬閤相關繫數為0.9836,標準差為1.88 nm;在0～15 μm範圍內步長為1μm的測量結果其線性擬相關繫數為0.9992,標準差為2.96 nm.驗證瞭所提齣的榦涉條紋處理方法和信號處理繫統能夠實現納米級位移測量精度的要求.
개소격광원편진간섭납미위이측량계통적광로결구,침대A/D오차화직류조성인입적위이오차,제출료기우정여현신호절환적간섭조문처리방법,이제고측량정도.설계기우FPGA화DSP가구적격광원편진간섭납미위이측량계통,기중FPGA주요용우신호적채집、대수계수급여상위궤통신,DSP주요용우소수계산.위이실험결과표명:재0～7 μm범위내,보장위100 nm적측량결과기선성의합상관계수위0.9836,표준차위1.88 nm;재0～15 μm범위내보장위1μm적측량결과기선성의상관계수위0.9992,표준차위2.96 nm.험증료소제출적간섭조문처리방법화신호처리계통능구실현납미급위이측량정도적요구.
