物理与工程
物理與工程
물리여공정
PHYSICS AND ENGINEERING
2013年
5期
42-44,50
,共4页
椭偏仪%载物台%等幅椭圆偏振光%光接收器
橢偏儀%載物檯%等幅橢圓偏振光%光接收器
타편의%재물태%등폭타원편진광%광접수기
介绍了椭偏仪实验装置及实验调整的不足对薄膜参数测量的影响,制作了小孔光阑和可调位移平台,对光接收和实验调整做了改进,给出了改进的实验调整和实验测量方法,改进后的实验调整简单易调,测量精度得到提高.
介紹瞭橢偏儀實驗裝置及實驗調整的不足對薄膜參數測量的影響,製作瞭小孔光闌和可調位移平檯,對光接收和實驗調整做瞭改進,給齣瞭改進的實驗調整和實驗測量方法,改進後的實驗調整簡單易調,測量精度得到提高.
개소료타편의실험장치급실험조정적불족대박막삼수측량적영향,제작료소공광란화가조위이평태,대광접수화실험조정주료개진,급출료개진적실험조정화실험측량방법,개진후적실험조정간단역조,측량정도득도제고.
