天津职业技术师范大学学报
天津職業技術師範大學學報
천진직업기술사범대학학보
JOURNAL OF TIANJING UNIVERSITY OF TECHNOLOGY AND EDUCATION
2013年
3期
1-3
,共3页
ZnO%Mn%X射线衍射谱%稀磁半导体
ZnO%Mn%X射線衍射譜%稀磁半導體
ZnO%Mn%X사선연사보%희자반도체
采用射频磁控溅射法在不同衬底温度下沉积了一系列ZnO和ZnO∶ Mn薄膜.结合X射线衍射谱和扫描电子显微镜,分析了不同温度条件下的ZnO和ZnO∶ Mn薄膜的结构特性.结果显示:ZnO和ZnO∶Mn薄膜均呈现出显著的(002)定向生长特征,与ZnO的(002)衍射峰相比,相应条件下生长的ZnO∶ Mn(002)衍射峰均向小角度偏移,这主要是由于大离子半径的Mn2+替代了Zn2+的结果.同时随着衬底温度的升高,薄膜形貌得到明显改善,晶粒尺寸呈现减小趋势.
採用射頻磁控濺射法在不同襯底溫度下沉積瞭一繫列ZnO和ZnO∶ Mn薄膜.結閤X射線衍射譜和掃描電子顯微鏡,分析瞭不同溫度條件下的ZnO和ZnO∶ Mn薄膜的結構特性.結果顯示:ZnO和ZnO∶Mn薄膜均呈現齣顯著的(002)定嚮生長特徵,與ZnO的(002)衍射峰相比,相應條件下生長的ZnO∶ Mn(002)衍射峰均嚮小角度偏移,這主要是由于大離子半徑的Mn2+替代瞭Zn2+的結果.同時隨著襯底溫度的升高,薄膜形貌得到明顯改善,晶粒呎吋呈現減小趨勢.
채용사빈자공천사법재불동츤저온도하침적료일계렬ZnO화ZnO∶ Mn박막.결합X사선연사보화소묘전자현미경,분석료불동온도조건하적ZnO화ZnO∶ Mn박막적결구특성.결과현시:ZnO화ZnO∶Mn박막균정현출현저적(002)정향생장특정,여ZnO적(002)연사봉상비,상응조건하생장적ZnO∶ Mn(002)연사봉균향소각도편이,저주요시유우대리자반경적Mn2+체대료Zn2+적결과.동시수착츤저온도적승고,박막형모득도명현개선,정립척촌정현감소추세.
