激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2013年
9期
1048-1050
,共3页
倒装互连%FC300%自适应调平系统%干涉仪系统
倒裝互連%FC300%自適應調平繫統%榦涉儀繫統
도장호련%FC300%자괄응조평계통%간섭의계통
flip chip%FC300%selflevelling%interferometer
介绍了红外探测器与读出电路倒装互连工艺过程,详细对比倒装焊接机FC150和FC300的主要技术参数和功能,着重讨论了FC300新增加的自适应调平系统和干涉仪系统.回顾了法国LETI实验室应用自适应调平系统进行的2K×2K超大规模红外器件混成实验和干涉仪系统在超大规模红外器件倒装互连方面的应用.
介紹瞭紅外探測器與讀齣電路倒裝互連工藝過程,詳細對比倒裝銲接機FC150和FC300的主要技術參數和功能,著重討論瞭FC300新增加的自適應調平繫統和榦涉儀繫統.迴顧瞭法國LETI實驗室應用自適應調平繫統進行的2K×2K超大規模紅外器件混成實驗和榦涉儀繫統在超大規模紅外器件倒裝互連方麵的應用.
개소료홍외탐측기여독출전로도장호련공예과정,상세대비도장한접궤FC150화FC300적주요기술삼수화공능,착중토론료FC300신증가적자괄응조평계통화간섭의계통.회고료법국LETI실험실응용자괄응조평계통진행적2K×2K초대규모홍외기건혼성실험화간섭의계통재초대규모홍외기건도장호련방면적응용.
