激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2013年
9期
1040-1043
,共4页
直拉法%智能化改进%红外测径仪YPIR-QT
直拉法%智能化改進%紅外測徑儀YPIR-QT
직랍법%지능화개진%홍외측경의YPIR-QT
CZ growth method%intelligent improvements%infrared diameter test device YPIR-QT
高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛.直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节.本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出信号作为单晶直径控制系统的反馈信号;同时,对红外测径仪YPIR-QT的智能化改进提出简要阐述.
高質量鍺單晶材料在信息產業、航空航天和國防軍工等高新技術領域應用廣汎.直拉法為鍺單晶生長的主要方法,單晶直徑檢測是直拉法的重要環節.本文介紹鍺單晶直拉法生長過程中,紅外測徑儀YPIR-QT的應用情況,對單晶直徑進行測量,其輸齣信號作為單晶直徑控製繫統的反饋信號;同時,對紅外測徑儀YPIR-QT的智能化改進提齣簡要闡述.
고질량타단정재료재신식산업、항공항천화국방군공등고신기술영역응용엄범.직랍법위타단정생장적주요방법,단정직경검측시직랍법적중요배절.본문개소타단정직랍법생장과정중,홍외측경의YPIR-QT적응용정황,대단정직경진행측량,기수출신호작위단정직경공제계통적반궤신호;동시,대홍외측경의YPIR-QT적지능화개진제출간요천술.