仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2014年
4期
940-947
,共8页
张新雨%刘丁%杨文%杨延西
張新雨%劉丁%楊文%楊延西
장신우%류정%양문%양연서
单晶炉%直径检测%椭圆检测%人工鱼群算法%霍夫变换
單晶爐%直徑檢測%橢圓檢測%人工魚群算法%霍伕變換
단정로%직경검측%타원검측%인공어군산법%곽부변환
single crystal furnace%diameter detection%ellipse detection%artificial fish swarm algorithm%Hough transform
为提高单晶硅直径检测的速度和精度,首先将单晶硅直径检测转换为在图像中对高亮光环进行椭圆检测的问题,并依据此提出了一种基于人工鱼群霍夫变换的椭圆检测方法,该方法在参数空间中由人工鱼群算法搜索霍夫变换之后使得累加器达到最大值的椭圆参数最优解,从而得到精确的单晶硅直径测量值.最后通过基于带有高斯白噪声的完整椭圆、不完整椭圆的仿真实验和单晶硅直径检测工程实验进行验证,并且和5种传统方法(最小二乘法、霍夫变换、随机霍夫变换、粒子群霍夫变换和RANSAC)进行对比.实验结果表明,所提方法有效地提高了霍夫变换椭圆检测的速度和精度,从而提高了单晶硅直径检测的速度和精度.
為提高單晶硅直徑檢測的速度和精度,首先將單晶硅直徑檢測轉換為在圖像中對高亮光環進行橢圓檢測的問題,併依據此提齣瞭一種基于人工魚群霍伕變換的橢圓檢測方法,該方法在參數空間中由人工魚群算法搜索霍伕變換之後使得纍加器達到最大值的橢圓參數最優解,從而得到精確的單晶硅直徑測量值.最後通過基于帶有高斯白譟聲的完整橢圓、不完整橢圓的倣真實驗和單晶硅直徑檢測工程實驗進行驗證,併且和5種傳統方法(最小二乘法、霍伕變換、隨機霍伕變換、粒子群霍伕變換和RANSAC)進行對比.實驗結果錶明,所提方法有效地提高瞭霍伕變換橢圓檢測的速度和精度,從而提高瞭單晶硅直徑檢測的速度和精度.
위제고단정규직경검측적속도화정도,수선장단정규직경검측전환위재도상중대고량광배진행타원검측적문제,병의거차제출료일충기우인공어군곽부변환적타원검측방법,해방법재삼수공간중유인공어군산법수색곽부변환지후사득루가기체도최대치적타원삼수최우해,종이득도정학적단정규직경측량치.최후통과기우대유고사백조성적완정타원、불완정타원적방진실험화단정규직경검측공정실험진행험증,병차화5충전통방법(최소이승법、곽부변환、수궤곽부변환、입자군곽부변환화RANSAC)진행대비.실험결과표명,소제방법유효지제고료곽부변환타원검측적속도화정도,종이제고료단정규직경검측적속도화정도.
