通过交替生长气氛调控N掺杂ZnO薄膜电学特性
통과교체생장기분조공N참잡ZnO박막전학특성
p-type Doping of ZnO∶N Thin Fims by Alternating The Growth Atmosphere
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2014年 4期 399-403 ,共5页

    赵鹏程%张振中%姚斌%李炳辉%王双鹏%姜明明%赵东旭%单崇新%刘雷

    조붕정%장진중%요빈%리병휘%왕쌍붕%강명명%조동욱%단숭신%류뢰

    氧化锌%p型掺杂%间歇性补氧 氧化鋅%p型摻雜%間歇性補氧
    양화자%p형참잡%간헐성보양
    ZnO%p-type%oxygen supplementation
    使用分子束外延方法在c面蓝宝石衬底上生长了系列氮掺杂ZnO薄膜样品.在连续的富锌气氛环境中生长的样品,由于存在大量的施主缺陷,呈现n型电导.为了抑制施主缺陷带来的补偿效应,在生长过程中,通过周期性补充氧气,形成周期性的富氧气氛,缓解了氮掺杂浓度和施主缺陷浓度之间的矛盾.光致发光测量表明,通过交替生长气氛,氧空位和锌间隙等缺陷在薄膜中得到了显著抑制.通过交替生长气氛生长的外延薄膜的结品质量也有所提高.样品显示出重复性较高的p型电导,载流子浓度可达到1016cm-3.周期性补氧调节生长气氛的生长方式是一种有效实现p型掺杂ZnO的方法.
    사용분자속외연방법재c면람보석츤저상생장료계렬담참잡ZnO박막양품.재련속적부자기분배경중생장적양품,유우존재대량적시주결함,정현n형전도.위료억제시주결함대래적보상효응,재생장과정중,통과주기성보충양기,형성주기성적부양기분,완해료담참잡농도화시주결함농도지간적모순.광치발광측량표명,통과교체생장기분,양공위화자간극등결함재박막중득도료현저억제.통과교체생장기분생장적외연박막적결품질량야유소제고.양품현시출중복성교고적p형전도,재류자농도가체도1016cm-3.주기성보양조절생장기분적생장방식시일충유효실현p형참잡ZnO적방법.
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