发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2014年
4期
393-398
,共6页
宋秋明%吕明昌%谭兴%张康%杨春雷
宋鞦明%呂明昌%譚興%張康%楊春雷
송추명%려명창%담흥%장강%양춘뢰
H/Al共掺杂ZnO%自由载流子吸收%磁控溅射%薄膜太阳能电池
H/Al共摻雜ZnO%自由載流子吸收%磁控濺射%薄膜太暘能電池
H/Al공참잡ZnO%자유재류자흡수%자공천사%박막태양능전지
H/Al co-doped ZnO%free carriers absorpion%magnetron sputtering%thin film solar cells
利用H在ZnO中作为浅施主杂质的特性,研究了H掺杂对ZnO∶ Al透明导电薄膜特性的影响.通过降低ZnO∶ Al中Al的含量并同时引入H掺杂,解决了透明导电薄膜中高导电性与高透过率之间的矛盾.H的掺杂可以显著降低ZnO基透明导电薄膜的电阻率,这是由于H一方面作为施主可以提供电子从而提高了自由载流子浓度;另一方面与ZnO晶界中的O-结合降低了晶界势垒,提高了载流子迁移率.利用H掺杂,可以在Al掺杂量降低10倍的情况下,仍然能获得低电阻率(6.3 ×10-4Ω·cm)的透明导电薄膜,同时其近红外波段(1 200 nm)透光率从64％提高到90％.这种具有高导电性和高透光性的透明导电薄膜可以应用于各类薄膜太阳能电池中以提升器件效率.
利用H在ZnO中作為淺施主雜質的特性,研究瞭H摻雜對ZnO∶ Al透明導電薄膜特性的影響.通過降低ZnO∶ Al中Al的含量併同時引入H摻雜,解決瞭透明導電薄膜中高導電性與高透過率之間的矛盾.H的摻雜可以顯著降低ZnO基透明導電薄膜的電阻率,這是由于H一方麵作為施主可以提供電子從而提高瞭自由載流子濃度;另一方麵與ZnO晶界中的O-結閤降低瞭晶界勢壘,提高瞭載流子遷移率.利用H摻雜,可以在Al摻雜量降低10倍的情況下,仍然能穫得低電阻率(6.3 ×10-4Ω·cm)的透明導電薄膜,同時其近紅外波段(1 200 nm)透光率從64％提高到90％.這種具有高導電性和高透光性的透明導電薄膜可以應用于各類薄膜太暘能電池中以提升器件效率.
이용H재ZnO중작위천시주잡질적특성,연구료H참잡대ZnO∶ Al투명도전박막특성적영향.통과강저ZnO∶ Al중Al적함량병동시인입H참잡,해결료투명도전박막중고도전성여고투과솔지간적모순.H적참잡가이현저강저ZnO기투명도전박막적전조솔,저시유우H일방면작위시주가이제공전자종이제고료자유재류자농도;령일방면여ZnO정계중적O-결합강저료정계세루,제고료재류자천이솔.이용H참잡,가이재Al참잡량강저10배적정황하,잉연능획득저전조솔(6.3 ×10-4Ω·cm)적투명도전박막,동시기근홍외파단(1 200 nm)투광솔종64％제고도90％.저충구유고도전성화고투광성적투명도전박막가이응용우각류박막태양능전지중이제승기건효솔.
