红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2014年
2期
149-153
,共5页
丛家铭%潘永强%邬云华%张传军%王善力
叢傢銘%潘永彊%鄔雲華%張傳軍%王善力
총가명%반영강%오운화%장전군%왕선력
CdS薄膜%磁控溅射%化学水浴%TCO
CdS薄膜%磁控濺射%化學水浴%TCO
CdS박막%자공천사%화학수욕%TCO
CdS thin film%magnetron sputtering%chemical bath deposition%TCO
采用化学水浴法和磁控溅射法分别在AZO、FTO、ITO透明导电玻璃衬底上制备了CdS薄膜,利用扫描电镜、XRD以及透射光谱等测试手段,研究了两种制备方法对不同衬底生长CdS薄膜形貌、结构和光学性能的影响.研究结果表明,不同方法制备的CdS薄膜表面形貌均依赖于衬底的类型,水浴法制备的CdS薄膜晶粒度较大,表面相对粗糙.不同方法制备的CdS薄膜均为立方相和六角相的混相结构,溅射法制备的多晶薄膜衍射峰清晰、尖锐,结晶性较好.水浴法制备的CdS薄膜透过率整体低于溅射法,但在短波处优势明显.
採用化學水浴法和磁控濺射法分彆在AZO、FTO、ITO透明導電玻璃襯底上製備瞭CdS薄膜,利用掃描電鏡、XRD以及透射光譜等測試手段,研究瞭兩種製備方法對不同襯底生長CdS薄膜形貌、結構和光學性能的影響.研究結果錶明,不同方法製備的CdS薄膜錶麵形貌均依賴于襯底的類型,水浴法製備的CdS薄膜晶粒度較大,錶麵相對粗糙.不同方法製備的CdS薄膜均為立方相和六角相的混相結構,濺射法製備的多晶薄膜衍射峰清晰、尖銳,結晶性較好.水浴法製備的CdS薄膜透過率整體低于濺射法,但在短波處優勢明顯.
채용화학수욕법화자공천사법분별재AZO、FTO、ITO투명도전파리츤저상제비료CdS박막,이용소묘전경、XRD이급투사광보등측시수단,연구료량충제비방법대불동츤저생장CdS박막형모、결구화광학성능적영향.연구결과표명,불동방법제비적CdS박막표면형모균의뢰우츤저적류형,수욕법제비적CdS박막정립도교대,표면상대조조.불동방법제비적CdS박막균위립방상화륙각상적혼상결구,천사법제비적다정박막연사봉청석、첨예,결정성교호.수욕법제비적CdS박막투과솔정체저우천사법,단재단파처우세명현.
