传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
4期
14-16,20
,共4页
张嘉琪%胡馨升%胡发志%齐高璨%袁志好
張嘉琪%鬍馨升%鬍髮誌%齊高璨%袁誌好
장가기%호형승%호발지%제고찬%원지호
石英晶体微天平%ZnO%氨气%传感器%LabVIEW
石英晶體微天平%ZnO%氨氣%傳感器%LabVIEW
석영정체미천평%ZnO%안기%전감기%LabVIEW
quartz crystal microbalance(QCM)%ZnO%NH3 gas%sensor%LabVIEW
主要介绍了ZnO纳米棒修饰的石英晶体微天平(QCM)气体传感器的制备与测试.采用两步法在石英晶振片表面制备直径为100 nm的ZnO纳米棒敏感膜,构成QCM NH3传感器.检测系统为自主研发的基于LabVIEW平台的QCM气体传感器频率测试软件.检测NH3的体积分数为5×10-6～50 ×10-6,响应时间均在10s以内,最大频差值为10.9 Hz,响应最大频差值与NH3体积分数呈现良好的线性关系.室温条件下,ZnO纳米棒敏感膜可以完全实现吸附解吸过程,具有可逆性.该传感器性能稳定,响应灵敏,具有重复性.
主要介紹瞭ZnO納米棒脩飾的石英晶體微天平(QCM)氣體傳感器的製備與測試.採用兩步法在石英晶振片錶麵製備直徑為100 nm的ZnO納米棒敏感膜,構成QCM NH3傳感器.檢測繫統為自主研髮的基于LabVIEW平檯的QCM氣體傳感器頻率測試軟件.檢測NH3的體積分數為5×10-6～50 ×10-6,響應時間均在10s以內,最大頻差值為10.9 Hz,響應最大頻差值與NH3體積分數呈現良好的線性關繫.室溫條件下,ZnO納米棒敏感膜可以完全實現吸附解吸過程,具有可逆性.該傳感器性能穩定,響應靈敏,具有重複性.
주요개소료ZnO납미봉수식적석영정체미천평(QCM)기체전감기적제비여측시.채용량보법재석영정진편표면제비직경위100 nm적ZnO납미봉민감막,구성QCM NH3전감기.검측계통위자주연발적기우LabVIEW평태적QCM기체전감기빈솔측시연건.검측NH3적체적분수위5×10-6～50 ×10-6,향응시간균재10s이내,최대빈차치위10.9 Hz,향응최대빈차치여NH3체적분수정현량호적선성관계.실온조건하,ZnO납미봉민감막가이완전실현흡부해흡과정,구유가역성.해전감기성능은정,향응령민,구유중복성.
