中国惯性技术学报
中國慣性技術學報
중국관성기술학보
JOURNAL OF CHINESE INERTIAL TECHNOLOGY
2014年
1期
104-108
,共5页
倪云舫%李宏生%杨波%黄丽斌%赵立业%王攀%刘嘉
倪雲舫%李宏生%楊波%黃麗斌%趙立業%王攀%劉嘉
예운방%리굉생%양파%황려빈%조립업%왕반%류가
硅微陀螺%正交误差%正交校正%直流电压%结构设计
硅微陀螺%正交誤差%正交校正%直流電壓%結構設計
규미타라%정교오차%정교교정%직류전압%결구설계
silicon micro-gyroscope%quadrature error%quadrature correction%DC voltage%structure design
为硅微陀螺设计了一种正交误差直流校正方法,通过设计校正结构和加载直流电压实现正交校正.建立了存在正交误差时敏感质量的运动微分方程,分析明确了正交响应的成因和对驱动运动轨迹的影响.为硅微陀螺设计了正交校正结构,实现构建静电耦合弹性系数并利用驱动运动产生校正静电力.校正力的频率和相位无需电路控制,使该方法相较于传统校正方法具备特殊优势.设计并分析了校正电压的两种加载方式,通过实验测试验证了正交响应幅值随校正电压的变化规律.实测校正电压接近理论值,证明了校正结构设计的正确性.该方法在双线振动式硅微陀螺中具有重要应用价值.
為硅微陀螺設計瞭一種正交誤差直流校正方法,通過設計校正結構和加載直流電壓實現正交校正.建立瞭存在正交誤差時敏感質量的運動微分方程,分析明確瞭正交響應的成因和對驅動運動軌跡的影響.為硅微陀螺設計瞭正交校正結構,實現構建靜電耦閤彈性繫數併利用驅動運動產生校正靜電力.校正力的頻率和相位無需電路控製,使該方法相較于傳統校正方法具備特殊優勢.設計併分析瞭校正電壓的兩種加載方式,通過實驗測試驗證瞭正交響應幅值隨校正電壓的變化規律.實測校正電壓接近理論值,證明瞭校正結構設計的正確性.該方法在雙線振動式硅微陀螺中具有重要應用價值.
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