中国惯性技术学报
中國慣性技術學報
중국관성기술학보
JOURNAL OF CHINESE INERTIAL TECHNOLOGY
2014年
1期
100-103,124
,共5页
韩丰田%吴秋平%孙搏谦%张汉蒸%马高印
韓豐田%吳鞦平%孫搏謙%張漢蒸%馬高印
한봉전%오추평%손박겸%장한증%마고인
微机电系统%微机械加速度计%空间静电加速度计%静电支承%支承刚度
微機電繫統%微機械加速度計%空間靜電加速度計%靜電支承%支承剛度
미궤전계통%미궤계가속도계%공간정전가속도계%정전지승%지승강도
MEMS%micromachined accelerometer%space electrostatic accelerometer%electrostatic suspension%suspension stiffness
静电加速度计通过降低带宽和量程在空间微重力环境下可以实现极高的分辨率.设计了一种采用玻璃-硅-玻璃“三明治”结构、平行六面体状检验质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,推导并讨论了静电支承回路的典型刚度特性与控制参数之间的关系式.采用基于DSP的数字控制器,实现了敏感质量的六自由度稳定支承,在大气环境下测试了静电支承回路的主要性能.分析与测试结果表明,在支承系统频带内,支承刚度特性与控制器参数及气膜阻尼系数密切相关;同时,改变预载电压可以在较大范围内在线调整加速度计的量程和支承刚度等指标.
靜電加速度計通過降低帶寬和量程在空間微重力環境下可以實現極高的分辨率.設計瞭一種採用玻璃-硅-玻璃“三明治”結構、平行六麵體狀檢驗質量、體硅加工工藝的三軸硅微靜電加速度計,推導併討論瞭靜電支承迴路的典型剛度特性與控製參數之間的關繫式.採用基于DSP的數字控製器,實現瞭敏感質量的六自由度穩定支承,在大氣環境下測試瞭靜電支承迴路的主要性能.分析與測試結果錶明,在支承繫統頻帶內,支承剛度特性與控製器參數及氣膜阻尼繫數密切相關;同時,改變預載電壓可以在較大範圍內在線調整加速度計的量程和支承剛度等指標.
정전가속도계통과강저대관화량정재공간미중력배경하가이실현겁고적분변솔.설계료일충채용파리-규-파리“삼명치”결구、평행륙면체상검험질량、체규가공공예적삼축규미정전가속도계,추도병토론료정전지승회로적전형강도특성여공제삼수지간적관계식.채용기우DSP적수자공제기,실현료민감질량적륙자유도은정지승,재대기배경하측시료정전지승회로적주요성능.분석여측시결과표명,재지승계통빈대내,지승강도특성여공제기삼수급기막조니계수밀절상관;동시,개변예재전압가이재교대범위내재선조정가속도계적량정화지승강도등지표.
