厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2013年
5期
627-632
,共6页
陶也%曾毅波%刘畅%林杰%郭航
陶也%曾毅波%劉暢%林傑%郭航
도야%증의파%류창%림걸%곽항
微机电系统%电容式压力传感器%硅薄膜%超声腐蚀,化学机械抛光
微機電繫統%電容式壓力傳感器%硅薄膜%超聲腐蝕,化學機械拋光
미궤전계통%전용식압력전감기%규박막%초성부식,화학궤계포광
MEMS%capacitive pressure sensor%silicon membrane%utrlasonic corrosion%chemical mechanical polishing (CMP)
获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超声腐蚀与化学机械抛光的方法,得到了厚度为10 μm的均匀、平整的硅基薄膜,为制备微型压力传感器奠定了工艺基础,也可用于其他微机电系统(MEMS)压力传感器.
穫得均勻、平整的硅基薄膜是製備齣高靈敏度的微型電容式壓力傳感器的關鍵步驟.首先在理論分析的基礎上,確定瞭微型電容式壓力傳感器的基本參數,而後在製備中,髮展瞭一種新型的硅基薄膜製作方法,即利用硅-玻璃鍵閤工藝,結閤濃KOH溶液超聲腐蝕與化學機械拋光的方法,得到瞭厚度為10 μm的均勻、平整的硅基薄膜,為製備微型壓力傳感器奠定瞭工藝基礎,也可用于其他微機電繫統(MEMS)壓力傳感器.
획득균균、평정적규기박막시제비출고령민도적미형전용식압력전감기적관건보취.수선재이론분석적기출상,학정료미형전용식압력전감기적기본삼수,이후재제비중,발전료일충신형적규기박막제작방법,즉이용규-파리건합공예,결합농KOH용액초성부식여화학궤계포광적방법,득도료후도위10 μm적균균、평정적규기박막,위제비미형압력전감기전정료공예기출,야가용우기타미궤전계통(MEMS)압력전감기.
