真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2013年
4期
27-30
,共4页
尚阿曼%高鸣%黄亦工%张巨先
尚阿曼%高鳴%黃亦工%張巨先
상아만%고명%황역공%장거선
高纯Al2O3陶瓷%表面形貌%高温Mo-Mn法金属化%封接强度
高純Al2O3陶瓷%錶麵形貌%高溫Mo-Mn法金屬化%封接彊度
고순Al2O3도자%표면형모%고온Mo-Mn법금속화%봉접강도
High purity Al2O3 ceramics%Surface morphology%High temperature molybdenum-manganese process%Sealing strength
本文通过不同烧结温度制备出两种显微结构的高纯Al2O3陶瓷,采用四种不同的加工方式,制备出不同表面状态的高纯Al2O3陶瓷样品.利用轮廓仪测量样品表面粗糙度,并利用扫描电镜对其表面显微形貌进行分析.然后,将各种不同表面形貌的高纯Al2O3陶瓷进行高温Mo-Mn法金属化,并用Ag焊料进行封接.最后,测试出不同表面形貌的高纯Al2O3陶瓷金属化封接强度,进而研究高纯氧化铝陶瓷表面形貌对其Mo-Mn金属化封接强度的影响.结果发现,表面未加工高纯Al2O3陶瓷金属化封接强度高、一致性最好.
本文通過不同燒結溫度製備齣兩種顯微結構的高純Al2O3陶瓷,採用四種不同的加工方式,製備齣不同錶麵狀態的高純Al2O3陶瓷樣品.利用輪廓儀測量樣品錶麵粗糙度,併利用掃描電鏡對其錶麵顯微形貌進行分析.然後,將各種不同錶麵形貌的高純Al2O3陶瓷進行高溫Mo-Mn法金屬化,併用Ag銲料進行封接.最後,測試齣不同錶麵形貌的高純Al2O3陶瓷金屬化封接彊度,進而研究高純氧化鋁陶瓷錶麵形貌對其Mo-Mn金屬化封接彊度的影響.結果髮現,錶麵未加工高純Al2O3陶瓷金屬化封接彊度高、一緻性最好.
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