航空工程进展
航空工程進展
항공공정진전
ADVANCES IN AERONAUTICAL SCIENCE AND ENGINEERING
2013年
3期
327-332
,共6页
马炳和%郝日鹏%邓进军%朱鹏飞
馬炳和%郝日鵬%鄧進軍%硃鵬飛
마병화%학일붕%산진군%주붕비
柔性热膜%隔热背腔%仿真%微加工
柔性熱膜%隔熱揹腔%倣真%微加工
유성열막%격열배강%방진%미가공
为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构.借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数；研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件.对静/动态特性进行对比测试,结果表明:在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20％,时间常数由400 μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升.
為瞭進一步提高器件性能,設計一種新型隔熱揹腔式柔性熱膜傳感器探頭結構.藉助流體傳熱耦閤倣真和動態響應分析等,確定揹腔結構參數；研髮針對隔熱揹腔式柔性熱膜探頭的雙麵圖形化微加工工藝,穫得新型傳感器件.對靜/動態特性進行對比測試,結果錶明:在相同的輸入被測量情況下,新結構器件的輸齣信號量值提高瞭20％,時間常數由400 μs減小到220μs,器件的靈敏度和動態響應性能都穫得瞭有效提升.
위료진일보제고기건성능,설계일충신형격열배강식유성열막전감기탐두결구.차조류체전열우합방진화동태향응분석등,학정배강결구삼수；연발침대격열배강식유성열막탐두적쌍면도형화미가공공예,획득신형전감기건.대정/동태특성진행대비측시,결과표명:재상동적수입피측량정황하,신결구기건적수출신호량치제고료20％,시간상수유400 μs감소도220μs,기건적령민도화동태향응성능도획득료유효제승.
