计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2013年
5期
452-456
,共5页
许颖%于化东%于占江%李一全
許穎%于化東%于佔江%李一全
허영%우화동%우점강%리일전
计量学%微小摩擦%光反射法%测力传感器%平行梁
計量學%微小摩抆%光反射法%測力傳感器%平行樑
계량학%미소마찰%광반사법%측력전감기%평행량
Metrology%Micro-friction%Reflection method%Force sensor%Parallel cantilever
针对介观尺度下的微小摩擦测试系统进行了设计,给出了一种基于平行梁结构的微小摩擦力测试方法及其测试装置,介绍了该测试装置的设计方法、测力传感器的结构设计、微小摩擦力测试原理及测力传感器标定方法.通过光反射法对测力传感器进行标定及微小摩擦力测量,通过对测量数据分析,得到微小摩擦力实验规律.实验结果表明:该装置分辨率可达到为10μN,可满足短行程高分辨率的微小摩擦力测试的需要,同时对测量过程中出现的载荷不稳定情况进行了分析.
針對介觀呎度下的微小摩抆測試繫統進行瞭設計,給齣瞭一種基于平行樑結構的微小摩抆力測試方法及其測試裝置,介紹瞭該測試裝置的設計方法、測力傳感器的結構設計、微小摩抆力測試原理及測力傳感器標定方法.通過光反射法對測力傳感器進行標定及微小摩抆力測量,通過對測量數據分析,得到微小摩抆力實驗規律.實驗結果錶明:該裝置分辨率可達到為10μN,可滿足短行程高分辨率的微小摩抆力測試的需要,同時對測量過程中齣現的載荷不穩定情況進行瞭分析.
침대개관척도하적미소마찰측시계통진행료설계,급출료일충기우평행량결구적미소마찰력측시방법급기측시장치,개소료해측시장치적설계방법、측력전감기적결구설계、미소마찰력측시원리급측력전감기표정방법.통과광반사법대측력전감기진행표정급미소마찰력측량,통과대측량수거분석,득도미소마찰력실험규률.실험결과표명:해장치분변솔가체도위10μN,가만족단행정고분변솔적미소마찰력측시적수요,동시대측량과정중출현적재하불은정정황진행료분석.
