中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2013年
17期
105
,共1页
玻璃基板%研磨机工作台%气路系统
玻璃基闆%研磨機工作檯%氣路繫統
파리기판%연마궤공작태%기로계통
分析了液晶玻璃基板研磨机工作台的气路系统工作原理及存在的不足,通过在该气路系统上加设储气罐、电磁阀、真空压力表等,同时控制电磁阀动作时序,彻底解决了困扰生产的真空气路积水问题,提高了设备运行的安全性和可靠性.
分析瞭液晶玻璃基闆研磨機工作檯的氣路繫統工作原理及存在的不足,通過在該氣路繫統上加設儲氣罐、電磁閥、真空壓力錶等,同時控製電磁閥動作時序,徹底解決瞭睏擾生產的真空氣路積水問題,提高瞭設備運行的安全性和可靠性.
분석료액정파리기판연마궤공작태적기로계통공작원리급존재적불족,통과재해기로계통상가설저기관、전자벌、진공압력표등,동시공제전자벌동작시서,철저해결료곤우생산적진공기로적수문제,제고료설비운행적안전성화가고성.
