发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2013年
10期
1362-1366
,共5页
朱彦旭%范玉宇%曹伟伟%邓叶%刘建朋
硃彥旭%範玉宇%曹偉偉%鄧葉%劉建朋
주언욱%범옥우%조위위%산협%류건붕
氮化镓%高压LED%电流输运
氮化鎵%高壓LED%電流輸運
담화가%고압LED%전류수운
GaN%high-vlotage LED%current transport properties
在制备串联高压LED阵列工艺中,ICP刻蚀工艺引起的漏电与断路问题是高压LED电流输运特性中的核心问题.本文着重从刻蚀深度、掩模材料以及隔离槽制备方面分析了ICP刻蚀工艺对高压LED的漏电、电极开路等电流输运问题的影响.通过随机抽取样品进行电学测试并结合SEM观测,对比了不同工艺过程,得出ICP工艺是导致串联高压LED阵列中可靠性问题的主要原因.并通过优选ICP刻蚀工艺,使高压LED电流输运特性得以改善,制备出～12V的四串联高压LED阵列器件.
在製備串聯高壓LED陣列工藝中,ICP刻蝕工藝引起的漏電與斷路問題是高壓LED電流輸運特性中的覈心問題.本文著重從刻蝕深度、掩模材料以及隔離槽製備方麵分析瞭ICP刻蝕工藝對高壓LED的漏電、電極開路等電流輸運問題的影響.通過隨機抽取樣品進行電學測試併結閤SEM觀測,對比瞭不同工藝過程,得齣ICP工藝是導緻串聯高壓LED陣列中可靠性問題的主要原因.併通過優選ICP刻蝕工藝,使高壓LED電流輸運特性得以改善,製備齣～12V的四串聯高壓LED陣列器件.
재제비천련고압LED진렬공예중,ICP각식공예인기적루전여단로문제시고압LED전류수운특성중적핵심문제.본문착중종각식심도、엄모재료이급격리조제비방면분석료ICP각식공예대고압LED적루전、전겁개로등전류수운문제적영향.통과수궤추취양품진행전학측시병결합SEM관측,대비료불동공예과정,득출ICP공예시도치천련고압LED진렬중가고성문제적주요원인.병통과우선ICP각식공예,사고압LED전류수운특성득이개선,제비출～12V적사천련고압LED진렬기건.
