电子工艺技术
電子工藝技術
전자공예기술
ELECTRONICS PROCESS TECHNOLOGY
2013年
3期
133-135,166
,共4页
电子封装%可靠性%在线等离子清洗
電子封裝%可靠性%在線等離子清洗
전자봉장%가고성%재선등리자청세
Electronic packaging%Reliability%On-line plasma cleaning
介绍了在线等离子清洗的原理及其在微电子封装工艺中的应用,通过键合工艺后的剪切推球实验,分析在线等离子清洗对引线键合球焊点质量和完整性的影响.实验结果表明,清洗后可以有效去除键合区存在的各种污染物,提高键合强度.相对批量式等离子清洗,在线等离子清洗具有效率高、节省劳动力和安全可靠等优点,是保证微电子封装可靠性的一种有效手段.
介紹瞭在線等離子清洗的原理及其在微電子封裝工藝中的應用,通過鍵閤工藝後的剪切推毬實驗,分析在線等離子清洗對引線鍵閤毬銲點質量和完整性的影響.實驗結果錶明,清洗後可以有效去除鍵閤區存在的各種汙染物,提高鍵閤彊度.相對批量式等離子清洗,在線等離子清洗具有效率高、節省勞動力和安全可靠等優點,是保證微電子封裝可靠性的一種有效手段.
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