电子科技
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전자과기
IT AGE
2013年
9期
172-176
,共5页
李凌宇%卢翌%陈兴%许高斌
李凌宇%盧翌%陳興%許高斌
리릉우%로익%진흥%허고빈
微系统%陀螺仪%结构特点%关键技术
微繫統%陀螺儀%結構特點%關鍵技術
미계통%타라의%결구특점%관건기술
介绍了微机械陀螺仪的关键技术、种类、性能比较和不同应用领域对其性能参数的要求.总结了近几年国内外微机械陀螺仪结构的研究最新成果.对框架式、音叉式、振动轮式、振动环式、转子悬浮式、质量块式和双线振动式等微机械陀螺仪的结构、加工和性能等进行了分析比较.主要阐述了微机械陀螺仪的漂移误差、精度和封装技术3大研究难点和高精度、微加工维度、结构和电路优化、单片多自由度和单片集成化等研究发展趋势.
介紹瞭微機械陀螺儀的關鍵技術、種類、性能比較和不同應用領域對其性能參數的要求.總結瞭近幾年國內外微機械陀螺儀結構的研究最新成果.對框架式、音扠式、振動輪式、振動環式、轉子懸浮式、質量塊式和雙線振動式等微機械陀螺儀的結構、加工和性能等進行瞭分析比較.主要闡述瞭微機械陀螺儀的漂移誤差、精度和封裝技術3大研究難點和高精度、微加工維度、結構和電路優化、單片多自由度和單片集成化等研究髮展趨勢.
개소료미궤계타라의적관건기술、충류、성능비교화불동응용영역대기성능삼수적요구.총결료근궤년국내외미궤계타라의결구적연구최신성과.대광가식、음차식、진동륜식、진동배식、전자현부식、질량괴식화쌍선진동식등미궤계타라의적결구、가공화성능등진행료분석비교.주요천술료미궤계타라의적표이오차、정도화봉장기술3대연구난점화고정도、미가공유도、결구화전로우화、단편다자유도화단편집성화등연구발전추세.
