电子科技
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전자과기
IT AGE
2013年
9期
50-53
,共4页
陈树华%武华%周弘毅%崔文凯%马云飞%郭霞
陳樹華%武華%週弘毅%崔文凱%馬雲飛%郭霞
진수화%무화%주홍의%최문개%마운비%곽하
粗糙度%界面态%傅里叶变换红外透射谱%C-V测试
粗糙度%界麵態%傅裏葉變換紅外透射譜%C-V測試
조조도%계면태%부리협변환홍외투사보%C-V측시
针对硅片研磨和抛光产生的亚表面损伤层会影响载流子寿命及界面态的特点,采用机械减薄、机械抛光、化学机械抛光(CMP)制备出不同粗糙度的样品.通过傅里叶红外透射谱分析和C-V测试分析表明,粗糙度大的硅片表面因表面损伤大,具有更低的红外透射率和更高的界面态密度.
針對硅片研磨和拋光產生的亞錶麵損傷層會影響載流子壽命及界麵態的特點,採用機械減薄、機械拋光、化學機械拋光(CMP)製備齣不同粗糙度的樣品.通過傅裏葉紅外透射譜分析和C-V測試分析錶明,粗糙度大的硅片錶麵因錶麵損傷大,具有更低的紅外透射率和更高的界麵態密度.
침대규편연마화포광산생적아표면손상층회영향재류자수명급계면태적특점,채용궤계감박、궤계포광、화학궤계포광(CMP)제비출불동조조도적양품.통과부리협홍외투사보분석화C-V측시분석표명,조조도대적규편표면인표면손상대,구유경저적홍외투사솔화경고적계면태밀도.
