测控技术
測控技術
측공기술
MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY
2014年
5期
31-34
,共4页
何京徽%许素安%谢敏%袁铭权%钱飞%陈乐%孙坚
何京徽%許素安%謝敏%袁銘權%錢飛%陳樂%孫堅
하경휘%허소안%사민%원명권%전비%진악%손견
激光外差干涉仪%纳米位移测量%LabVIEW
激光外差榦涉儀%納米位移測量%LabVIEW
격광외차간섭의%납미위이측량%LabVIEW
laser heterodyne interferometer%nanometric displacement measurement%LabVIEW
工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求.测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用.提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统.该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域.
工業的髮展對位置測量精度提齣瞭越來越高的要求.測量外差榦涉儀由于其自身測量範圍廣、測量速度高、穩定性好、分辨率高的特點,在納米測量領域中得到廣汎的應用.提齣瞭一種基于LabVIEW的外差榦涉納米位移測量繫統,該繫統採用外差榦涉儀作為位置檢測單元,利用LabVIEW圖形化編程語言開髮瞭納米精度位移測量繫統.該繫統可廣汎應用于納米計量和超精密測量領域.
공업적발전대위치측량정도제출료월래월고적요구.측량외차간섭의유우기자신측량범위엄、측량속도고、은정성호、분변솔고적특점,재납미측량영역중득도엄범적응용.제출료일충기우LabVIEW적외차간섭납미위이측량계통,해계통채용외차간섭의작위위치검측단원,이용LabVIEW도형화편정어언개발료납미정도위이측량계통.해계통가엄범응용우납미계량화초정밀측량영역.
