钼粉形貌对溅射靶材微观组织的影响
목분형모대천사파재미관조직적영향
THE EFFECT OF MOLYBDENUM POWDER MORPHOLOGY ON MICROSTRUCTURE OF MOLYBDENUM SPUTTERING TARGET
  • 万方数据
    中国钼业 중국목업
    CHINA MOLYBDENUM INDUSTRY
    2014年 1期 48-49 ,共2页

    李晶%安耿%刘仁智

    리정%안경%류인지

    钼粉%溅射靶材%微观组织 鉬粉%濺射靶材%微觀組織
    목분%천사파재%미관조직
    molybdenum powder%sputtering target%microstructure
    选用两种不同形貌的钼粉,经过压制、烧结、轧制、退火得到靶材产品,通过对金相组织的分析,得出颗粒大小均匀、无团聚的钼粉制备出的靶材组织较好,且大变形量有利于得到细小的组织结构.
    선용량충불동형모적목분,경과압제、소결、알제、퇴화득도파재산품,통과대금상조직적분석,득출과립대소균균、무단취적목분제비출적파재조직교호,차대변형량유리우득도세소적조직결구.
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