实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2014年
1期
9-12,153
,共5页
阳睿%李英姿%张立文%蒋沙汝%钱建强
暘睿%李英姿%張立文%蔣沙汝%錢建彊
양예%리영자%장립문%장사여%전건강
模糊PID控制%欧拉-伯努利模型%Ziegler-Nichols法%AM-AFM仿真平台
模糊PID控製%歐拉-伯努利模型%Ziegler-Nichols法%AM-AFM倣真平檯
모호PID공제%구랍-백노리모형%Ziegler-Nichols법%AM-AFM방진평태
fuzzy PID control%Euler-Bernoulli model%Ziegler-Nichols method%AM-AFM simulation platform
为了在传统PID控制的基础上实现参数的实时在线调整,获得更好的控制效果,进行了模糊PID控制的原子力显微镜仿真研究.运用欧拉-伯努利方程对幅度调制模式原子力显微镜(AM-AFM)的探针动态过程进行建模,并依据AM-AFM负反馈控制的系统模型,加入模糊PID控制模块,建立了一套完整的AM-AFM系统仿真平台.根据专家经验并查找模糊规则手册,建立了PID参数的模糊规则表,实现PID参数实时在线调整,实现了高品质的控制;同时,结合Ziegler-Nichols法离线调整出一组初值,并将此初值运用于模糊系统的模糊中心选择,进一步提高了控制效果.运用仿真平台对两个典型样品进行扫描仿真,检验了模糊PID的控制效果,表明模糊PID能显著提高AM-AFM对表面起伏较大的样品的成像质量.
為瞭在傳統PID控製的基礎上實現參數的實時在線調整,穫得更好的控製效果,進行瞭模糊PID控製的原子力顯微鏡倣真研究.運用歐拉-伯努利方程對幅度調製模式原子力顯微鏡(AM-AFM)的探針動態過程進行建模,併依據AM-AFM負反饋控製的繫統模型,加入模糊PID控製模塊,建立瞭一套完整的AM-AFM繫統倣真平檯.根據專傢經驗併查找模糊規則手冊,建立瞭PID參數的模糊規則錶,實現PID參數實時在線調整,實現瞭高品質的控製;同時,結閤Ziegler-Nichols法離線調整齣一組初值,併將此初值運用于模糊繫統的模糊中心選擇,進一步提高瞭控製效果.運用倣真平檯對兩箇典型樣品進行掃描倣真,檢驗瞭模糊PID的控製效果,錶明模糊PID能顯著提高AM-AFM對錶麵起伏較大的樣品的成像質量.
위료재전통PID공제적기출상실현삼수적실시재선조정,획득경호적공제효과,진행료모호PID공제적원자력현미경방진연구.운용구랍-백노리방정대폭도조제모식원자력현미경(AM-AFM)적탐침동태과정진행건모,병의거AM-AFM부반궤공제적계통모형,가입모호PID공제모괴,건립료일투완정적AM-AFM계통방진평태.근거전가경험병사조모호규칙수책,건립료PID삼수적모호규칙표,실현PID삼수실시재선조정,실현료고품질적공제;동시,결합Ziegler-Nichols법리선조정출일조초치,병장차초치운용우모호계통적모호중심선택,진일보제고료공제효과.운용방진평태대량개전형양품진행소묘방진,검험료모호PID적공제효과,표명모호PID능현저제고AM-AFM대표면기복교대적양품적성상질량.
