沈阳理工大学学报
瀋暘理工大學學報
침양리공대학학보
JOURNAL OF SHENYANG INTITUTE OF TECHNOLOGY
2014年
1期
63-65
,共3页
溶胶-凝胶%掺铝氧化锌%薄膜%低温%热处理
溶膠-凝膠%摻鋁氧化鋅%薄膜%低溫%熱處理
용효-응효%참려양화자%박막%저온%열처리
sol-gel%aluminum doped zinc oxide%thin film%low temperature%heat treatment
使用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备掺铝氧化锌薄膜,研究热处理温度对薄膜结构、形貌、电学性能的影响.结果表明:使用低温热处理制备的薄膜具有更好的C轴取向生长,表面平整质密,面阻最小达到1800Ω/□.
使用溶膠-凝膠法在玻璃基底上製備摻鋁氧化鋅薄膜,研究熱處理溫度對薄膜結構、形貌、電學性能的影響.結果錶明:使用低溫熱處理製備的薄膜具有更好的C軸取嚮生長,錶麵平整質密,麵阻最小達到1800Ω/□.
사용용효-응효법재파리기저상제비참려양화자박막,연구열처리온도대박막결구、형모、전학성능적영향.결과표명:사용저온열처리제비적박막구유경호적C축취향생장,표면평정질밀,면조최소체도1800Ω/□.
