CAJ | 학술논문

为简化大尺寸液晶面板四次光刻法的刻蚀工艺、减少有毒气体使用、降低射频功率消耗,在2 200 mm×2 500 mm大尺寸玻璃上,采用正交实验设计,验证了功率、气压、反应气体和比例等参数对各刻蚀步骤刻蚀速率、均一性和选择比的影响关系,从而得到各膜层的最佳工艺条件.在Enhance Cathode Couple Plasma Mode(ECCP)刻蚀模式下,采用新刻蚀条件合并薄膜晶体管有源区非晶硅、光刻胶、湿刻后源极和漏极剩余金属钼以及沟道非晶硅层干法刻蚀.利用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜电学特性进行测试,结果显示,金属钼的刻蚀可以采用一次两步干法刻蚀,“2干2湿”刻蚀可以整合为“1干1湿”.整合后总刻蚀工艺时间减少16s,减少了氯气使用量和RF总功率.试验改进了均一性和刻蚀率,同时对于下底衬具有良好的选择比,保持了良好的形貌,为大批量“1干1湿”生产提供了依据.
위간화대척촌액정면판사차광각법적각식공예、감소유독기체사용、강저사빈공솔소모,재2 200 mm×2 500 mm대척촌파리상,채용정교실험설계,험증료공솔、기압、반응기체화비례등삼수대각각식보취각식속솔、균일성화선택비적영향관계,종이득도각막층적최가공예조건.재Enhance Cathode Couple Plasma Mode(ECCP)각식모식하,채용신각식조건합병박막정체관유원구비정규、광각효、습각후원겁화루겁잉여금속목이급구도비정규층간법각식.이용소묘전자현미경(SEM)대박막전학특성진행측시,결과현시,금속목적각식가이채용일차량보간법각식,“2간2습”각식가이정합위“1간1습”.정합후총각식공예시간감소16s,감소료록기사용량화RF총공솔.시험개진료균일성화각식솔,동시대우하저츤구유량호적선택비,보지료량호적형모,위대비량“1간1습”생산제공료의거.