科技风
科技風
과기풍
TECHNOLOGY WIND
2014年
13期
132-133
,共2页
严德圣%周德红%王佃利
嚴德聖%週德紅%王佃利
엄덕골%주덕홍%왕전리
反转光刻胶%隔离介质%空洞%电镀
反轉光刻膠%隔離介質%空洞%電鍍
반전광각효%격리개질%공동%전도
介绍了一种基于反转光刻胶的电镀工艺，改善了电镀后器件剖面的形貌，有效的减小了后续淀积隔离介质产生的空洞。通过实验，优化了光刻显影工艺参数，并成功应用与批量生产中，提高了器件的可靠性与生产的成品率。
介紹瞭一種基于反轉光刻膠的電鍍工藝，改善瞭電鍍後器件剖麵的形貌，有效的減小瞭後續澱積隔離介質產生的空洞。通過實驗，優化瞭光刻顯影工藝參數，併成功應用與批量生產中，提高瞭器件的可靠性與生產的成品率。
개소료일충기우반전광각효적전도공예，개선료전도후기건부면적형모，유효적감소료후속정적격리개질산생적공동。통과실험，우화료광각현영공예삼수，병성공응용여비량생산중，제고료기건적가고성여생산적성품솔。
