中国电子科学研究院学报
中國電子科學研究院學報
중국전자과학연구원학보
JOURNAL OF CHINA ACADEMY OF ELECTRONICS AND INFORMATION TECHNOLOGY
2014年
3期
325-330
,共6页
王庚林%李飞%李宁博%刘永敏
王庚林%李飛%李寧博%劉永敏
왕경림%리비%리저박%류영민
内部气体质谱分析%氦气含量法%氩气含量法%最长候检时间%密封性检测
內部氣體質譜分析%氦氣含量法%氬氣含量法%最長候檢時間%密封性檢測
내부기체질보분석%양기함량법%아기함량법%최장후검시간%밀봉성검측
基于内外气体交换的分子流模型,采用了以THemin为基本判据和定量确定最长候检时间的方法,提出了以内部气体质谱分析检测元器件密封性的方法及其氦气含量法和氩气含量法,给出了这种方法的判据公式、压氦或压氩压力时间和最长候检时间公式或确定方法,规定了检测判定程序.内部气体质谱分析,需要时辅以粗漏检测,能够进行具有更高灵敏度和准确性的、破坏性的密封性检测,可用于鉴定检验、周期检验和认证性检测.
基于內外氣體交換的分子流模型,採用瞭以THemin為基本判據和定量確定最長候檢時間的方法,提齣瞭以內部氣體質譜分析檢測元器件密封性的方法及其氦氣含量法和氬氣含量法,給齣瞭這種方法的判據公式、壓氦或壓氬壓力時間和最長候檢時間公式或確定方法,規定瞭檢測判定程序.內部氣體質譜分析,需要時輔以粗漏檢測,能夠進行具有更高靈敏度和準確性的、破壞性的密封性檢測,可用于鑒定檢驗、週期檢驗和認證性檢測.
기우내외기체교환적분자류모형,채용료이THemin위기본판거화정량학정최장후검시간적방법,제출료이내부기체질보분석검측원기건밀봉성적방법급기양기함량법화아기함량법,급출료저충방법적판거공식、압양혹압아압력시간화최장후검시간공식혹학정방법,규정료검측판정정서.내부기체질보분석,수요시보이조루검측,능구진행구유경고령민도화준학성적、파배성적밀봉성검측,가용우감정검험、주기검험화인증성검측.
