自动化与仪表
自動化與儀錶
자동화여의표
AUTOMATION AND INSTRUMENTATION
2014年
7期
57-60
,共4页
徐加彦%陈兴林%范文超%张广莹
徐加彥%陳興林%範文超%張廣瑩
서가언%진흥림%범문초%장엄형
DSP2812%E-PIN升降机构%光刻机%音圈电机
DSP2812%E-PIN升降機構%光刻機%音圈電機
DSP2812%E-PIN승강궤구%광각궤%음권전궤
DSP2812%E-Pin lifting mechanism%lithography%voice coil motor
考虑到光刻机E-PIN升降机构吸附硅片做上下往复运动,准确定位、快速性、稳定性的要求,提出了一种基于DSP和FPGA的升降机构控制系统设计和实现方法.以TI公司的DSP2812为控制器,Altera公司的EP3C25E144C3N作为可编程逻辑器件,设计了信号采集模块,规划了控制系统的整体框架,定义了通信传输协议.详细介绍了控制系统的运动控制模块、传感器模块、驱动电路、音圈电机执行机构等方面的设计.通过实验证明,该控制系统运行可靠,准确性、稳定性达到要求.
攷慮到光刻機E-PIN升降機構吸附硅片做上下往複運動,準確定位、快速性、穩定性的要求,提齣瞭一種基于DSP和FPGA的升降機構控製繫統設計和實現方法.以TI公司的DSP2812為控製器,Altera公司的EP3C25E144C3N作為可編程邏輯器件,設計瞭信號採集模塊,規劃瞭控製繫統的整體框架,定義瞭通信傳輸協議.詳細介紹瞭控製繫統的運動控製模塊、傳感器模塊、驅動電路、音圈電機執行機構等方麵的設計.通過實驗證明,該控製繫統運行可靠,準確性、穩定性達到要求.
고필도광각궤E-PIN승강궤구흡부규편주상하왕복운동,준학정위、쾌속성、은정성적요구,제출료일충기우DSP화FPGA적승강궤구공제계통설계화실현방법.이TI공사적DSP2812위공제기,Altera공사적EP3C25E144C3N작위가편정라집기건,설계료신호채집모괴,규화료공제계통적정체광가,정의료통신전수협의.상세개소료공제계통적운동공제모괴、전감기모괴、구동전로、음권전궤집행궤구등방면적설계.통과실험증명,해공제계통운행가고,준학성、은정성체도요구.
