不同氧流量条件下ZnO纳米棒阵列的形成及机理分析
불동양류량조건하ZnO납미봉진렬적형성급궤리분석
Formation and Mechanism Analysis of ZnO Nanorod Arrays Fabricated at Different Oxygen Flow Rates
  • 万方数据
    材料导报 재료도보
    MATERIALS REVIEW
    2014年 14期 1-3 ,共3页

    曹培江%解振宇%韩舜%柳文军%贾芳%曾玉祥%朱德亮%吕有明

    조배강%해진우%한순%류문군%가방%증옥상%주덕량%려유명

    ZnO纳米棒阵列%化学气相沉积%发光性能 ZnO納米棒陣列%化學氣相沉積%髮光性能
    ZnO납미봉진렬%화학기상침적%발광성능
    ZnO nanorod arrays%CVD%optical property
    采用脉冲激光沉积结合化学气相沉积方法在p-Si(111)衬底上制备了呈直立生长的ZnO纳米棒阵列,并且研究了氧流量对ZnO纳米棒尺寸、结晶特性等性质的影响.研究结果表明,在没有氧气的环境下无法生长ZnO纳米棒;随氧流量减小,不同晶面上ZnO生长速率的不同导致ZnO纳米棒长度减小、直径变粗、结晶质量变差、纳米棒面密度减小.氧流量的减小使得ZnO纳米棒中的氧空位缺陷含量增加,导致位于约520 nm处的绿光峰增强.
    채용맥충격광침적결합화학기상침적방법재p-Si(111)츤저상제비료정직립생장적ZnO납미봉진렬,병차연구료양류량대ZnO납미봉척촌、결정특성등성질적영향.연구결과표명,재몰유양기적배경하무법생장ZnO납미봉;수양류량감소,불동정면상ZnO생장속솔적불동도치ZnO납미봉장도감소、직경변조、결정질량변차、납미봉면밀도감소.양류량적감소사득ZnO납미봉중적양공위결함함량증가,도치위우약520 nm처적록광봉증강.
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