红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2014年
3期
997-1001
,共5页
累积误差的去除%子孔径拼接%干涉测量
纍積誤差的去除%子孔徑拼接%榦涉測量
루적오차적거제%자공경병접%간섭측량
removing the accumulative error%subaperture stitching%interferometry
用子孔径拼接干涉法来检测大口径光学元件和光学系统是一种成本较低的有效手段。但是随着子孔径数目的增加，拼接得到的面形图中存在着很大的累积误差严重影响了拼接的精度，因此如何简单快速地去除累积误差成为子孔径拼接干涉检测法研究的主要问题之一。文中介绍了一种简单且快速的方法去除拼接中的累积误差。并且对一个大小为180 mm×80 mm的平面镜进行了6个子孔径拼接检测实验。在实验中，文中提出的方法很好的去除了拼接中的累积误差。
用子孔徑拼接榦涉法來檢測大口徑光學元件和光學繫統是一種成本較低的有效手段。但是隨著子孔徑數目的增加，拼接得到的麵形圖中存在著很大的纍積誤差嚴重影響瞭拼接的精度，因此如何簡單快速地去除纍積誤差成為子孔徑拼接榦涉檢測法研究的主要問題之一。文中介紹瞭一種簡單且快速的方法去除拼接中的纍積誤差。併且對一箇大小為180 mm×80 mm的平麵鏡進行瞭6箇子孔徑拼接檢測實驗。在實驗中，文中提齣的方法很好的去除瞭拼接中的纍積誤差。
용자공경병접간섭법래검측대구경광학원건화광학계통시일충성본교저적유효수단。단시수착자공경수목적증가，병접득도적면형도중존재착흔대적루적오차엄중영향료병접적정도，인차여하간단쾌속지거제루적오차성위자공경병접간섭검측법연구적주요문제지일。문중개소료일충간단차쾌속적방법거제병접중적루적오차。병차대일개대소위180 mm×80 mm적평면경진행료6개자공경병접검측실험。재실험중，문중제출적방법흔호적거제료병접중적루적오차。
Subaperture stitching interferometry is an effective means for measuring optical surfaces and systems. But the more subapertures are used, the more serious effect the accumulative error in stitching has on the accuracy. So finding a simple and fast way to remove the accumulative error is the key for improving subaperture stitching. An effective and quick method to eliminate the accumulative error in stitching was proposed in this paper. The plane mirror which was 180 mm ×80 mm was tested by six subapertures stitching in the experiment. And the method which was proposed in this paper could get rid of the accumulative error in stitching very well.
