计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2014年
2期
6-10
,共5页
EFPI%光纤压力传感器%F-P腔%稳定性%零点漂移
EFPI%光纖壓力傳感器%F-P腔%穩定性%零點漂移
EFPI%광섬압력전감기%F-P강%은정성%영점표이
EFPI%fiber pressure sensor%F-P Interferometer%stability%zero drift
介绍了一种基于法布里-珀罗干涉原理的 EFPI 光纤压力传感器。详细分析了这种光纤压力传感器的原理、结构和解调方法；讨论分析了材料、结构以及制作工艺对零点稳定性的影响；探讨了传感器内部热应力的分布以及消除方法。该结构传感器在经历-40℃和400℃的严酷温度考验后，零点漂移小于3 nm。
介紹瞭一種基于法佈裏-珀囉榦涉原理的 EFPI 光纖壓力傳感器。詳細分析瞭這種光纖壓力傳感器的原理、結構和解調方法；討論分析瞭材料、結構以及製作工藝對零點穩定性的影響；探討瞭傳感器內部熱應力的分佈以及消除方法。該結構傳感器在經歷-40℃和400℃的嚴酷溫度攷驗後，零點漂移小于3 nm。
개소료일충기우법포리-박라간섭원리적 EFPI 광섬압력전감기。상세분석료저충광섬압력전감기적원리、결구화해조방법；토론분석료재료、결구이급제작공예대영점은정성적영향；탐토료전감기내부열응력적분포이급소제방법。해결구전감기재경력-40℃화400℃적엄혹온도고험후，영점표이소우3 nm。
This paper introduced a type of EFPI fiber pressure sensor based on Fabry-Perot interferometer. It is concerned on the sensor's principle,structure,demodulation,facture methods,etc. The sensor's stability of zero drift is below 3 nm after experiencing - 40 ℃ thermal test and 400 ℃ thermal test.
