机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2014年
1期
56-58
,共3页
微动平台%宏微/平台%柔性铰链%动力学仿真
微動平檯%宏微/平檯%柔性鉸鏈%動力學倣真
미동평태%굉미/평태%유성교련%동역학방진
Micro Table%Macro-Micro Table%Flexure Hinge%Dynamics Simulation
根据高性能直线电机直接驱动宏动平台和宏/微双重驱动精密定位机构的要求,基于柔性铰链设计微动平台,实现大行程纳米级别的分辨率和定位精度;微动平台采用压电陶瓷驱动,安装于宏动平台上;整个宏/微系统采用精密绝对光栅和精密增量光栅二级位置检测以解决大行程和高分辨在检测上的矛盾问题,以此为位置反馈实现闭环控制.在平台结构设计的基础上建立系统质量刚度动力学模型,分析平台在阻尼垫块不同的情况的稳定性能.
根據高性能直線電機直接驅動宏動平檯和宏/微雙重驅動精密定位機構的要求,基于柔性鉸鏈設計微動平檯,實現大行程納米級彆的分辨率和定位精度;微動平檯採用壓電陶瓷驅動,安裝于宏動平檯上;整箇宏/微繫統採用精密絕對光柵和精密增量光柵二級位置檢測以解決大行程和高分辨在檢測上的矛盾問題,以此為位置反饋實現閉環控製.在平檯結構設計的基礎上建立繫統質量剛度動力學模型,分析平檯在阻尼墊塊不同的情況的穩定性能.
근거고성능직선전궤직접구동굉동평태화굉/미쌍중구동정밀정위궤구적요구,기우유성교련설계미동평태,실현대행정납미급별적분변솔화정위정도;미동평태채용압전도자구동,안장우굉동평태상;정개굉/미계통채용정밀절대광책화정밀증량광책이급위치검측이해결대행정화고분변재검측상적모순문제,이차위위치반궤실현폐배공제.재평태결구설계적기출상건립계통질량강도동역학모형,분석평태재조니점괴불동적정황적은정성능.
