中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2014年
3期
57-60
,共4页
金刚刀%划片%崩缺
金剛刀%劃片%崩缺
금강도%화편%붕결
本文针对金刚刀划片崩缺问题,对比双刀划片和单刀划片试验,分析了崩缺产生的原因,提出了窄划片槽晶圆金刚刀划片崩缺问题的应对方案.金刚刀划片采用双刀划片降低崩缺风险优于单刀划片工艺,双刀划片刀宽度越窄有利于降低崩缺,第一刀切深1/3厚度有利于降低崩缺风险.
本文針對金剛刀劃片崩缺問題,對比雙刀劃片和單刀劃片試驗,分析瞭崩缺產生的原因,提齣瞭窄劃片槽晶圓金剛刀劃片崩缺問題的應對方案.金剛刀劃片採用雙刀劃片降低崩缺風險優于單刀劃片工藝,雙刀劃片刀寬度越窄有利于降低崩缺,第一刀切深1/3厚度有利于降低崩缺風險.
본문침대금강도화편붕결문제,대비쌍도화편화단도화편시험,분석료붕결산생적원인,제출료착화편조정원금강도화편붕결문제적응대방안.금강도화편채용쌍도화편강저붕결풍험우우단도화편공예,쌍도화편도관도월착유리우강저붕결,제일도절심1/3후도유리우강저붕결풍험.
