传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
3期
34-36
,共3页
张汉蒸%韩丰田%孙搏谦%马高印
張漢蒸%韓豐田%孫搏謙%馬高印
장한증%한봉전%손박겸%마고인
微机电系统%微机械加速度计%静电加速度计%静电悬浮
微機電繫統%微機械加速度計%靜電加速度計%靜電懸浮
미궤전계통%미궤계가속도계%정전가속도계%정전현부
MEMS%micromachined accelerometer%electrostatic accelerometer%electrostatic suspension
硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率.设计了一种玻璃-硅-玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性.采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮.在大气环境下测试了静电加速度计的性能.测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220gn;y轴的带宽为118.2Hz,量程为0.313 gn;z轴的带宽为10.7Hz,量程为3.53gn.
硅微靜電加速度計將靜電懸浮技術與微機械加工工藝相結閤,在空間微重力環境下通過降低量程可實現極高的分辨率.設計瞭一種玻璃-硅-玻璃三明治結構、平行六麵體狀檢測質量、體硅加工工藝、低量程的三軸硅微靜電加速度計,分析瞭加速度計的力平衡迴路特性.採用基于DSP的數字控製器,實現瞭檢測質量的六自由度穩定懸浮.在大氣環境下測試瞭靜電加速度計的性能.測試結果錶明:加速度計x軸的帶寬為88.1 Hz,量程為0.220gn;y軸的帶寬為118.2Hz,量程為0.313 gn;z軸的帶寬為10.7Hz,量程為3.53gn.
규미정전가속도계장정전현부기술여미궤계가공공예상결합,재공간미중력배경하통과강저량정가실현겁고적분변솔.설계료일충파리-규-파리삼명치결구、평행륙면체상검측질량、체규가공공예、저량정적삼축규미정전가속도계,분석료가속도계적력평형회로특성.채용기우DSP적수자공제기,실현료검측질량적륙자유도은정현부.재대기배경하측시료정전가속도계적성능.측시결과표명:가속도계x축적대관위88.1 Hz,량정위0.220gn;y축적대관위118.2Hz,량정위0.313 gn;z축적대관위10.7Hz,량정위3.53gn.
